ВВЕДЕНИЕ
ГЛАВА 1. ОБЗОР СОВРЕМЕННОГО СОСТОЯНИЯ И НЕКОТОРЫХ АСПЕКТОВ РАЗВИТИЯ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ.
1.1 Тип КОНСТРУКЦИИ И СПОСОБЫ ФОРМИРОВАНИЯ ИНТЕГРАЛЬНЫХ МАГНИТОЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕЙ.
1.2 I РИБОРЫ НА ОСНОВЕ ШИРОКОЗОННЫХ МАТЕРИАЛОВ, КАК ЭЛЕМЕНТЫ РАБОТАЮЩИЕ В ЭКСТРЕМАЛЬНЫХ УСЛОВИЯХ. ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ СЛОЖНОСТИ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПРИБОРОВ НА ОСНОВЕ 8С.
1.3 МЕТОДЫ ФОРМИРОВАНИЯ ЛОКАЛЬНЫХ РАЗУПОРЯДОЧЕННЫХ ОБЛАСТЕЙ
ГЛАВА 2. ГАЛЬВАНОМАГНИТОРЕКОМБИНАЦИОННЫЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ НА ОСНОВЕ КАРБИДА КРЕМНИЯ
2.1 Конструктивные особешости создания
ГАЛЬВАНОМАГНИТОРЕКОМБИНАЦИОННОГО ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЯ НА ОСНОВЕ КАРБИДА КРЕМНИЯ.
2.2 ФОРМИРОВАНИЕ И ИССЛЕДОВАНИЕ ЛОКАЛЬНЫХ РАЗУПОРЯДОЧЕННЫХ ОБЛАСТЕЙ В КАРБИДЕ КРЕМНИЯ
2.3 Использование электроискровой обработки для получения омических контактов.
ГЛАВА 3. МОДЕЛИРОВАНИЕ ПРОЦЕССОВ В ПОДЛОЖКЕ С
ПРИ ЭЛЕКТРОИСКРВОЙ ОБРАБОТКЕ.
3.1 Моделирование распределения тепловых I юлей I 1ри элекгроискроой обработке в Б1С.
3.2 Термоупругие напряжения в области воздействия при электроискроой ОБРАБОТКЕ.
3.3 Сопоставление результатов математического моделирования с экспериментальными данными
ГЛАВА 4. ИНТЕГРАЛЬНЫЙ КРЕМНИЕВЫЙ ГАЛЬВАНОМАГНИТОРЕКОМБИНАЦИОННЫЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ.
4.1 Исследование времени жизни носителей на границе раздела ЭПИТАКСИАЛЬНОЙ ПЛЕНКИ С ЛОКАЛЬНОЙ РАЗУПОРЯДОЧЕННОЙ ОБЛАСТЬЮ
4.2 Исследование параметров галъваномагииторекомбинационного ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЯ
4.3 Расчет распределения области пространственного заряда в рабочей области параметров гальваномагниторекомбинационного преобразователя
4.4 1тимизация конструктивных параметров
ГАЛЬВАНОМАГНИТОРЕКОМБИНАЦИОННОГО ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЯ.
ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ РАБОТЫ
ПУБЛИКАЦИИ
ЛИТЕРАТУРА
- Київ+380960830922