ОГЛАВЛЕНИЕ
ВВЕДЕНИЕ
ГЛАВА 1. ДЕФЕКТЫ В ТОНКИХ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ
ПЛЕНКАХ
1.1. Требования к тонким металлическим плнкам. . .
1.2. Виды дефектов в тонких металлических плнках. .
1.3. Причины и стадии возникновения дефектов .
1.3.1 Образование дефектов упаковки
1.3.2 Образование дислокаций.
1.3.3 Образование двойников
1.3.4 Образование границ между зародышами при двойственном расположении
1.4. Образование пор.
1.6. Структура переходной зоны плнкаподложка. .
1.6. Возникновение напряжений
1.6.1. Структурные внутренние напряжения.
1.6.2. Фазовые внутренние напряжения.
1.6.3. Физикохимические внутренние напряжения. . . .
1.6.4. Термоконденсационные напряжения.
1.6.5. Термические напряжения при охлаждении
и при нагревании.
Выводы по главе 1 . .
Постановка задачи исследования
ГЛАВА 2. МЕХАНИЗМ ОБРАЗОВАНИЯ ПЛЕНОК И ПОСТРОЕНИЕ МОДЕЛЕЙ ДЕФЕКТОВ В МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ТОНКИХ ПЛЕНКАХ . . .
2.1. Термодинамическая теория гетерогенной конденсации
2.1.1. Изобарический и изотермический процесс конденсации
2.1.2. Термодинамика образования зародыша.
2.1.3. Критический радиус
2.2. Скорость образования зародышей
скорость конденсации.
2.3. Зарождение макроскопических пор.
2.4. Скорость образования пор в пленке.
2.5. Уменьшение несоответствия решеток
пленки и подложки
2.6. Сравнение теории с экспериментом
2.7. Модели микродефектов.
2.8. Методика оценки допустимых уровней дефектности
структуры металлических пленок.
Выводы по главе II
Влияние давления остаточного газа
на пористость в пленке.
Влияние температуры на пористость в пленке.
Влияние скорости осаждения пленки
на пористость в пленке.
Глава 3. ИССЛЕДОВАНИЕ ДЕФЕКТОВ В ПЛЕНКАХ . .
3.1. Экспериментальная методика получения
и исследования пленок алюминия.
3.2. Сравнение экспериментальных
и теоретических результатов
ОБЩИЕ ВЫВОДЫ.
Литература
- Київ+380960830922