Ви є тут

Повышение надежности высоковакуумных механизмов на основе учета влияния обезгаживающего прогрева

Автор: 

Невшупа Роман Александрович

Тип роботи: 

Кандидатская

Рік: 

1999

Артикул:

1000212756

179 грн

Додати в кошик

• 
• 
• 

Рекомендовані дисертації

• Новые технохимические процессы и оборудование жидкостного химического снятия слоев полимеров в планарном микроэлектронном производстве
• Теоретические и экспериментальные исследования ионизационных преобразователей давления с целью расширения диапазона измерения и создания нового поколения высоковакуумных и сверхвысоковакуумных ионизационных преобразователей давления общего и специального назначения
• Разработка перспективных методов литографии для получения рисунка на внутренней поверхности дефлектрона
• Исследование процесса и разработка установки финишной обработки микроприборов потоком твердых частиц
• Разработка и исследование элементной базы интегрированных вакуумных систем и создание на их основе оборудования высоких технологий производства изделий электронной техники
• Моделирование и проектирование электронно-оптических систем оборудования для электронной литографии
• Теоретические и прикладные вопросы создания бескорпусной вакуумной коммутационной аппаратуры и устройств вакуумной механики для многомодульного оборудования высоких технологий
• Разработка методов и средств контроля параметров рекуперации реагентов в безотходных технохимических процессах планарного микроэлектронного производства
• Теплофизические исследования и разработка реакторного блока установки быстрой термической обработки
• Теоретические и экспериментальные исследования ионизационных преобразователей давления с целью расширения диапазона измерения и создания нового поколения высоковакуумных и сверхвысоковакуумных ионизационных преобразователей давления общего и специального