Исследование твердотельных микро- и наноструктур методом спектроскопии отраженных электронов

СОДЕРЖАНИЕ
Введение
Глава 1. Области применения, технологии получения и методы исследования тврдотельных микро и наноструктур.
1.1 Приемники радиоизлучения субмиллиметрового
диапазона на основе гетеродинных смесителей.
1.2 Технологические аспекты формирования композиционной пленки ЫЬАГАЮхМ.
1.3 Вольтамперная характеристика туннельного сверхпроводящего перехода и ее зависимость от структуры границы раздела. Постановка задачи исследования.
1.4 Технологические аспекты формирования покрытий методом микродугового оксидирования.
Постановка задачи исследования
1.5 Выбор метода анализа микро и наноструктур
Глава 2. Экспериментальная установка по спектроскопии
отраженных электронов
2.1 Описание установки
2.2 Схема подключения измерительных приборов
2.3 Стабилизированный двухполярный источник питания.
2.4 Выбор методики измерения силы тока электронов на
выходе из энергоанализатора
2.5 Механизм перемещения исследуемых образцов около входной диафрагмы энергоанализатора. Проверка отсутствия влияния изменения положения блока с образцами на получаемые энергетические спектры
2.6 Схема регистрации тока с образца и ускоряющего напряжения электронной пушки
2.7 Схема управления ускоряющим напряжением
электронной пушки.
2.8 Измерение тока первичного пучка электронов с
помощью дополнительного цилиндра Фарадея
2.9 Система автоматического управления экспериментальной установкой
Глава 3. Программа имитационного моделирования процессов взаимодействия электронов и ионов средних энергий с твердым телом
3.1 Общие сведения о созданной программе
3.2 Описание алгоритма I.
3.3 Апробация программы.
Глава 4. Метод расчета энергетических спектров электронов, отраженных от многокомпонентных мишеней.
4.1 Основное уравнение.
4.2 Рассеяние в однородной мишени
4.3 Многослойная модель рассеивающей среды.
4.4 Апробация метода.
Глава 5. Результаты послойного анализа образцов микро и
наноразмеров и их обсуждение
5.1 Экспериментальное определение состава микроструктур .
5.2 Экспериментальное определение состава микроструктур, полученных методом микродугового оксидирования
Заключение
Список литературы