СОДЕРЖАНИЕ
ВВЕДЕНИЕ
Глава 1 Современное состояние исследований дефектов упаковки обзор литературы
1.1 Основные параметры, физические свойства, получение и применение кремния
1.2 Плоскостные дефекты в монокристаллах с решткой алмаза
1.3 Прямые методы обнаружения и исследования дефектов структуры селективного травления, декорирования, электронной просвечивающей микроскопии, ИКмикроскопии, рентгеновской топографии.
1.4 Динамическая теория рассеяния рентгеновских лучей основа рентгенотопографических методов
1.5 Контраст интенсивности от плоскостных дефектов.
1.6 Рентгенотопографические изображения дефектов упаковки. Проблемы X теории дифракционного контраста
1.7 Выводы и постановка задач диссертационного исследования
Глава 2 Аппаратура и методики эксперимента
2.1 Аппаратура и камеры для рентгенотопографического анализа дефектов в
2.2 Розеточная методика исследования дефектов структуры в
2.3 Приготовление и контроль качества поверхности образцов
2.4 Определение природы ДУ в случае сферической волны.
2.5 Определение природы ДУ в случае плоской волны.
2.6 Выводы
Глава 3 Теоретические модели дефектов упаковки в монокристаллах с
. решткой алмаза
3.1 Теоретические модели простых ростовых дефектов упаковки в
монокристаллах .
3.2 Теоретические модели сложных ростовых дефектов упаковки в
монокристаллах .
3.3 Модель тетраэдрического ДУ типа внедрения
3.3 Выводы.
Глава 4 Компьютерное моделирование бормановского контраста
интенсивности от частичных и вершинных дислокаций в монокристаллах кремния.
4.1 Расчет контраста интенсивности от дефектов кристалла с медленно изменяющимися полями деформации
4.2 Расчет контраста интенсивности от частичной градусной дислокации Шокли.
4.3 Расчет контраста интенсивности от частичных краевых дислокаций Шокли и Франка.
4.4 Расчет контраста интенсивности от вершинных дислокаций в барьерах ЛомераКоттрелла и Хирта.
4.5 Выводы.
Ч Глава 5 Исследование рентгенотопографического контраста от дефектов
упаковки в монокристаллах в случае эффекта Бормана.
5.1 Бормановский контраст интенсивности от плоскости ДУ
5.2 Экспериментальный бормановский контраст интенсивности от частичных градусных дислокаций Шокли.
5.3 Экспериментальный контраст интенсивности от частичных краевых дислокаций.
5.4 Экспериментальное исследование сложных ростовых ДУ в монокристаллах кремния.
5.5 Исследование дефектов упаковки в монокристаллах кремния методом Ланга
5.6 Исследование дефектов упаковки в монокристаллах кремния методом двухкристальной топографии.
5.7 Выводы.
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАННОЙ ЛИТЕРАТУРЫ
- Київ+380960830922