Введение
2.1. Определение концентраций основных и компенсирующих электрически активных центров в легированных монокристаллах кремния
2.1.1.Эффект Холла
2.1.2,Определение удельного сопротивления и холловской
подвижности основных носителей заряда
2.1.3.Метод измерения эффекта Холла.
2.1.4.0пределсние ошибки расчета концентрации основных и
компенсирующих центров
2.2.Термическая обработка образцов
2.3.Определение концентраций межузельных атомов кислорода,
углерода и азота в исследуемых образцах.
2.4 Изучение картины распределения ростовых микродефектов т в пластинах кремния методом медного декорирования.
Глава III. Влияние условий термообработки, собственных точечных дефектов и атомов бора на генерацию кислородных термодоноров в пластинах кремния
Введение.
3.1.Влияние собственных межузельных атомов кремния на генерацию кислородных термодоноров в пластинах кремния
3.1.1.Выбор условий эксперимента и параметров
исследуемых образцов
3.1.2.Влияние условий термообработки на генерацию кислородных термодоноров
в пластинах кремния во время отжига 0С.
ЗЛ.З.Влиянистолщины образца на генерацию кислородных термодоноров о время
отжига при 00С
3.1.4.Обсуждение результатов эксперимента.
3.1.5.Некоторые особенности изменение энергии
ионизации глубокого уровня двойных термодоноров
со временем отжига 0С
3.2.0собенности генерации кислородных термодоноров в монокристаллах кремнии с
повышенной концентрацией атомов бора.
3.3.0 возможном старении при комнатной температуре образцов,
прошедших высокотемпературный отжиг при 0С и 0С
3.4.Выводы
Глава IV. Влияние азота на генерацию термодоноров в кремнии при отжиге в
интервале температур 00С
Введение
4.1.Отжиг в интервале температур 00С
4.2. Влияние атомов азота на генерацию кислородных термодоноров
в процессах отжига при температурах 00С.
4.3. О возможном составе мелкого однозарядного термодонора, образующегося при температурах отжига 00С
в монокристаллах кремния, легированных азотом.
4.4.Выводы.
Заключение.
Приложение.
Список литературы
- Київ+380960830922