ЗМІСТ
Стор
Вступ
Розділ
Тверді розчини ZnxCd-xTe: природа, фізико-хімічні основи вирощування,
технологія обробки та застосування (Огляд літератури).
1.1.
Фізико-хімічні властивості напівпровідникових твердих розчинів ZnxCd-xTe
1.1.1.
Діаграма стану системи CdTe-ZnTe
1.1.2.
Методи вирощування монокристалів ZnхCd-хTe
1.2.
Проблеми хімічної обробки поверхні твердих розчинів ZnхCd-хTe
1.2.1.
Механічне та хіміко-механічне полірування кристалів ZnхCd-хTe
1.2.2.
Хімічне полірування поверхні твердих розчинів ZnхCd-хTe
1.2.2.1.
Травники на основі сполук брому
1.2.2.2.
Травники на основі сполук йоду
1.2.2.3.
Інші травильні композиції для полірування ZnхCd-хTe
1.2.3.
Травильні композиції для селективного травлення монокристалів ZnхCd-хTe
1.3.
Висновки з літературного огляду
Розділ
Методика експерименту
2.1.
Механічна та хімічна обробки поверхні напівпровідникових пластин
2.2.
Дослідження кінетичних закономірностей розчинення напівпровідникових матеріалів
2.3.
Оптимізація складу травника за допомогою симплексного математичного планування
експерименту
2.4.
Дослідження стану поверхні після хімічного травлення
2.4.1.
Мікроструктурні дослідження поверхні
2.4.2.
Профілографічні дослідження стану поверхні
2.4.3.
Дослідження поверхні методом рентгенівської фотоелектронної спектроскопії
2.5.
Вихідні матеріали
Розділ
Хімічне розчинення кадмій телуриду і твердих розчинів ZnxCd-xTe в
бромвиділяючих травниках на основі нітратної кислоти
3.1.
Хімічна взаємодія CdTe і твердих розчинів ZnxCd-xTe з травильними сумішами
HNO–HBr
3.2.
Хіміко-динамічне полірування поверхні монокристалів CdTe і ZnxCd-xTe в
розчинах системи HNO–HBr–етиленгліколь
3.3.
Висновки до
розділу
Розділ
Хімічне травлення CdTe і твердих розчинів ZnxCd-xTe бромвиділяючими водними
розчинами HNO–HBr– органічна кислота
4.1.
Хімічна взаємодія монокристалів ZnxCd-xTe з водними розчинами
HNO–HBr–лактатна кислота
4.2.
Хімічна взаємодія CdTe і твердих розчинів ZnxCd-xTe з травильними сумішами
HNO–HBr–тартратна кислота
4.3.
Хімічна взаємодія CdTe і твердих розчинів ZnxCd-xTe з травильними сумішами
HNO–HBr–цитратна кислота
4.3.1.
Використання в травильних композиціях HNO–HBr–цитратна кислота М розчину
СНО
4.3.2.
Хімічна взаємодія CdTe і твердих розчинів
ZnxCd-xTe з травильними сумішами HNO–HBr– М СНО
4.4.
Висновки до
розділу
Розділ
Обговорення та практичне використання одержаних результатів
5.1.
Загальні закономірності хіміко-динамічного полірування поверхні CdTe і твердих
розчинів ZnxCd-xTe травильними композиціями HNO–HBr– розчинник
5.2.
Оптимізація складів травильних композицій HNO–HBr–розчинник, технологічних
режимів та методів хімічної обробки поверхні CdTe і твердих розчинів
ZnхCd-хTe
5.3.
Застосування травників HNO–HBr–розчинник для хіміко-механічного полірування
твердого розчину Zn,Cd,Te
5.4.
Компенсаційний ефект в кінетиці хімічного розчинення CdTe і твердих розчинів
ZnxCd-xTe в бромвиділяючих травниках HNO–HBr–розчинник
5.5.
Дослідження мікроструктури та шорсткості полірованих поверхонь CdTe і твердих
розчинів ZnxCd-xTe
5.6.
Визначення складу та структурної досконалості поверхні Zn,Cd,Te після
хімічної обробки
5.7.
Висновки до
розділу
Висновки
Список
- Київ+380960830922