Інформаційні технології аналізу та синтезу мікроелектромеханічних систем

ЗМІСТСтор. ПЕРЕЛІК УМОВНИХ ПОЗНАЧЕНЬ ТА СКОРОЧЕНЬ ВСТУП
РОЗДІЛ 1. АНАЛІЗ СУЧАСНОГО СТАНУ ІНФОРМАЦІЙНИХ ТЕХНОЛОГІЙ АНАЛІЗУ ТА СИНТЕЗУ МЕМС
1.1. Аналіз існуючих методів інформаційних технологій аналізу та синтезу МЕМС
1.2. Аналіз математичних моделей, конструкцій та принципів роботи елементів МЕМС
1.3. Аналіз засобів інформаційних технологій аналізу та синтезу МЕМС1.4. Висновки
РОЗДІЛ 2. РОЗРОБЛЕННЯ АРХІТЕКТУРИ ТА ОСНОВНИХ СКЛАДОВИХ ІНФОРМАЦІЙНИХ ТЕХНОЛОГІЙ АНАЛІЗУ ТА СИНТЕЗУ МЕМС
2.1. Розроблення архітектури інформаційних технологій аналізу та синтезу МЕМС
2.2. Побудова інформаційної моделі об'єкта розроблення (МЕМС)2.3. Особливості застосування блочно-ієрархічного підходу для розв'язання задач аналізу та синтезу МЕМС
2.4. Введення алгоритмічного аспекту до ІТ аналізу та синтезу МЕМС2.5. Особливості організації розв'язання задач аналізу та синтезу на ієрархічних рівнях
2.6. Розроблення структурної схеми програмно-технічного засобу інформаційних технологій аналізу та синтезу МЕМС
2.7. Висновки
РОЗДІЛ 3. РОЗРОБЛЕННЯ МЕТОДІВ І МОДЕЛЕЙ ДЛЯ ІНФОРМАЦІЙНИХ ТЕХНОЛОГІЙ АНАЛІЗУ ТА СИНТЕЗУ МЕМС НА СИСТЕМНОМУ РІВНІ
3.1. Розроблення моделі для аналізу та синтезу МЕМС на системному рівні3.2. Розроблення та аналіз структурних схем МЕМС3.3. Побудова І-АБО дерева для інформаційної технології синтезу конструкції МЕМС на системному рівні
3.4. Розроблення інформаційної моделі альтернативного рішення3.5. Розроблення методу автоматизованого синтезу функціональних моделей МЕМС на основі мереж Петрі
3.6. Розроблення методу зменшення потужності множини альтернативних рішень
3.7. Висновки
РОЗДІЛ 4. РОЗРОБЛЕННЯ МЕТОДУ ТА МОДЕЛЕЙ БАЗОВИХ ЕЛЕМЕНТІВ ДЛЯ СХЕМОТЕХНІЧНОГО РІВНЯ ІНФОРМАЦІЙНИХ ТЕХНОЛОГІЙ АНАЛІЗУ ТА СИНТЕЗУ МЕМС
4.1. Розроблення базових моделей схемотехнічного рівня ІТ аналізу та синтезу МЕМС
4.2. Розроблення моделі ємнісного інтегрального давача зустрічно-стрижневої конструкції для аналізу на схемотехнічному рівні розроблення МЕМС
4.3. Методи розв'язання задач на схемотехнічному рівні розроблення МЕМС4.4. Розроблення методу для автоматизації побудови VHDL-AMS - моделей елементів МЕМС схемотехнічного рівня
4.5. Побудова VHDL-AMS- моделей базових елементів МЕМС4.6. Висновки
РОЗДІЛ 5. РОЗРОБЛЕННЯ МЕТОДІВ І МОДЕЛЕЙ БАЗОВИХ ЕЛЕМЕНТІВ ДЛЯ КОМПОНЕНТНОГО РІВНЯ ІНФОРМАЦІЙНИХ ТЕХНОЛОГІЙ АНАЛІЗУ ТА СИНТЕЗУ МЕМС
5.1. Розроблення ММ базових електростатичних пристроїв МЕМС5.1.1. Модель базової конструкції мікродавача електростатичного типу
5.1.2. Модель базової конструкції мікроактюатора електростатичного типу
5.1.3. Модель базової конструкції мікроакселерометра електростатичного типу
5.2. Розроблення ММ базових електромагнітних пристроїв МЕМС5.2.1. Математична модель базової конструкції електромагнітного інтегрального давача
5.2.2. Базова математична модель електромагнітного інтегрального актюатора
5.3. Розроблення математичних моделей базових термічних пристроїв МЕМС5.3.1. Математична модель базової конструкції термодавача5.3.2. Математична модель базової конструкції термоактюатора5.4. Розроблення ММ базових гідравлічних пристроїв МЕМС5.4.1. Математична модель гідравлічної мікропомпи з електростатичним приводом
5.4.2. Математична модель модель мікропомпи з п'єзоелектричним приводом
5.5. Розроблення ММ базових п'єзоелектричних пристроїв МЕМС5.5.1. Математична модель п'єзоелектричного давача5.5.2. Математична модель п'єзоелектричного акселерометра5.6. Розроблення алгоритмів для ІТ аналізу та синтезу МЕМС на схемотехнічному і компонентному рівнях та дослідження точності і адекватності розроблених моделей
5.7. Висновки
РОЗДІЛ 6. РОЗРОБЛЕННЯ МОДЕЛЕЙ І АЛГОРИТМІВ ДЛЯ ІНФОРМАЦІЙНИХ ТЕХНОЛОГІЙ АНАЛІЗУ ТА СИНТЕЗУ ТЕХНОЛОГІЧНИХ ПРОЦЕСІВ ВИГОТОВЛЕННЯ МЕМС
6.1. Побудова тривимірних математичних моделей дифузійних процесів6.2. Побудова тривимірної моделі епітаксійного нарощення плівок6.3. Побудова тривимірної моделі іонної імплантації6.4. Побудова моделі іонного травлення6.5. Методи та алгоритми для інформаційної технології аналізу та синтезу технологічних процесів виготовлення МЕМС
6.6. Висновки
РОЗДІЛ 7. РЕЗУЛЬТАТИ АНАЛІЗУ ТА СИНТЕЗУ ЕЛЕМЕНТІВ МЕМС7.1. Результати аналізу розподілу потенціалу та електричного поля в зустрічно-стрижневій конструкції базового інтегрального давача
7.2. Результати аналізу залежності ємностей в зустрічно-стрижневій конструкції базового інтегрального давача
7.3. Результати оптимізації зустрічно-стрижневої конструкції базового інтегрального давача
7.4. Результати дослідження акселерометрів ємнісного типу7.5. Результати моделювання електромагнітного давача7.6. Результати моделювання електромагнітного актюатора7.7. Результати моделювання мікропомп7.8. Результати моделювання давача тиску ємнісного та п'єзорезистивного типів
7.9. Результати аналізу термо- та п'єзоелектричного актюаторів7 Результати аналізу VHDL-AMS моделей7 Аналіз структур МЕМС з допомогою мереж Петрі7 ВисновкиОСНОВНІ РЕЗУЛЬТАТИ ТА ВИСНОВКИ Додаток А. Розроблені VHDL-AMS моделі базових елементів МЕМС Додаток Б. Значення точок інтегрування та вагових коефіцієнтівДодаток В. Застосування методу скінчених різниць до розв'язання двовимірного рівняння Лапласа
Додаток Д. Основні співвідношення для застосування методу скінченних елементів при визначенні переміщень та напружень в конструкції елементів МЕМС
Додаток Е. Результати технологічного проектування ємнісного акселерометра пластинчастої конструкції
Додаток Ж. Акт впровадження в навчальний процес Національного університету "Львівська політехніка"
Додаток З. Акт впровадження ЛНДРТІСПИСОК