Технология получения и процессы перемагничивания пленочных магнитов из сплава системы Nd-Fe-B

ВВЕДЕНИЕ
ГЛАВА I. ПЛЕНОЧНЫЕ I IШТЫ I II ЛИТЕРАТУР 1ЫЙ ОБЗОР
1.1. Применение постоянных пленочных магнитов в микроэлектромеханических системах
1.2. Классификация пленочных магнитов
1.2.1. Пленочные магниты на основе редкоземельного и 3ходного металлов
1.2.2. леночнье магниты на базе переходных металлов
1.2.3. Фсрритовыс пленки
1.2.4. Композитные магнитные пленки
1.3. реимущества пленочных магнитов из сплава
1.4. Кристаллическая структура соединения МзРсмВ и фазовый
состав в системе
1.5. рирода высококоэрцитивного состояния в массивных магнитах сплава
1.5.1. Влияние фазового состава на магнитные свойства
1.5.2. Температурное поведение магнитных свойств
1.5.3. Процессы перемагничивания постоянных магнитов
1.6. Общие факторы, влияющие на формирование структуры и кристаллической текстуры в пленках при напылении
1.7. Влияние режима напыления на магнитные свойства и кристаллическую структуру пленок сплава
1.8. Влияние режима термического отжига аморфных пленок на формирование магнитных свойств
1.9. Влияние материала подложки на свойства и текстуру пленок
1 Заключение но литературному обзору и постановка задач исследования
ГЛАВА 2. МЕТОДИКА ПОЛУЧЕНИЯ И ИССЛЕДОВАНИЯ ПЛЕНОЧНЫХ МАПШТОВ НА ОС1ЮВЕ СОЕДИНЕНИЯ
2.1. Методика получения образцов
2.1.1.олучсние распыляемой мишени
2.1.2. Общие положения получения образцов различной
конфигурации
2.1.3.ереоборудование установки для повышения технологичности
2.1.4. Получение плоских пленочных маг нитов
2.1.5.1Толучение полуцилиндрических и полусферических
образцов
2.2. Описание оборудования для измерения магнитных характеристик
и оценка пог решности измерений
2.2.1. Методика измерения магнитных характеристик
2.2.2. Измерение топографии магнитного поля над поверхностью пленок различной конфигурации и формы
2.2.3. Исследование магнитных свойств пленок при 4,2 К
2.3. Определение рельефа поверхности и толщины пленок
2.4. Рентгеновские исследования фазового состава пленок
2.5. Методика компьютерного моделирования магнитных свойств
ГЛАВА 3. РЕЗУЛЬТАТЫ И ИХ ОБСУЖДЕНИЕ
3.1. Влияние температуры подложки на формирование кристаллической и аморфной структуры пленок
3.2. Влияние температуры и длительности отжига аморфных пленок на их магнитные свойства
3.3. Влияние материала подложки на формирование магнитных свойств и текстуры пленок
3.4. Распределение магнитных свойств пленок от их расположения
на подложке
3.5. Получение пленок сложной конфигурации
3.6. Природа высококоэрцитивного состояния и процессы перемагничивания в пленочных магнитах
3.7. Распределение магнитного ноля вокруг пленочных
магнитов
3.8. Примение пленочных постоянных магнитов
ВЫВОДЫ
СПИСОК ЛИТЕРАТУ