Диагностика чувствительных элементов и измерительных модулей датчиков давлений и технологий их изготовления

ВВЕДЕНИЕ
1 Обзор и анализ методов и средств диагностики датчиков, измерительных систем и изделий.
1.1. Общие вопросы и задачи функциональной диагностики датчиков
и измерительных систем
1.2. Объекты диагностики.
1.3. Контролепригодность чувствительных элементов, измерительных моделей и датчиков физических величин
1.4. Обзор и анализ существующих методов и устройств контроля, диагностики и испытания датчиков и их элементов
2 Диагностика и контроль механических напряжений, температуры и вибраций в чувствительных элементах и измерительных модулях датчиков
2.1. Механические напряжения в сенсорных элементах и структурах датчиков, модели, методы и средства диагностики
2.2. Исследование методов и средств контроля механических напряжений в чувствительных элементах и измерительных модулях датчиков статикодинамических давлений
2.3 Пьезорезистивные эффекты в активных структурах и их использование для контроля и диагностики чувствительных элементов и измерительных модулей
2.4. Емкостный метод диагностики и контроля механических напряжений
в чувствительных элементах и измерительных модулях
2.5 Методы преобразования и контроля тепловых параметров
2.6. Физические эффекты в пьезоэлектрических материалах и структурах
и их использование для контроля и диагностики датчиков
2.7. Исследование методов и средств измерения вибраций и применение их для контроля и диагностики чувствительных элементов и измерительных модулей
2.8. Методы и профаммы анализа тестовых сигналов и воздействий на чувствительные элементы и измерительные модули пьезоэлекфических датчиков.
3 Диагностика технологий формирования элементов и структур чувствительных элементов и измерительных модулей датчиков статикодинамических давлений
3.1. Контроль и диагностика технологических процессов изготовления элементов и структур датчиков
3.2. Контроль и диагностика специальных технологических операций изготовления чувствительных элементов и измерительных модулей.
3.3. Технологии формирования и контроля электроадгезионного соединения полупроводников и изоляторов в микромсханических узлах и измерительных модулях датчиков.
4 Внедрение технологий, методик и устройств функциональной диагностики чувствительных элементов, измерительных модулей и датчиков статикодинамических давлений.
4.1. Усовершенствование методов неразрушающего контроля и диагностики чувствительных элементов и измерительных модулей датчиков
4.2. Организация технологии контроля и диагностики чувствительных элементов и измерительных модулей.
4.3. Особенности диагностики полупроводниковых чувствительных элементов и измерительных модулей многофункциональных датчиков
4.4. Разработка методов уменьшения объема контроля чувствительных элементов и измерительных модулей.
4.5. Организация технологии сквозной диагностики сис темы чувствительный элемептизмерительный модульдатчик
4.6 Усовершенствование средств контроля и диагностики датчиков
Основные результаты и выводы
Перечень сокращений.
Библиографический список
Приложение
Введение
Актуальность