Исследование оптических свойств зонных пластинок Френеля из кремния для осевой геометрии

ОГЛАВЛЕНИЕ
ВВЕДЕНИЕ
ГЛАВА 1. РЕНТГЕНООПТИЧЕСКИЕ ЭЛЕМЕНТЫ
1.1. Зонные пластинки Френеля
1.1.1. Геометрия зонных пластинок
1.1.2. Дифракционные порядки зонных пластинок
1.1.3. Дифракционная картина
1.1.4. Разрешение
1.1.5. Эффективность дифракции
1.1.6. Амплитудные зонные пластинки Френеля
1.1.7. Фазовые зонные пластинки Френеля
1.1.8. Амплитуднофазовые зонные пластинки Френеля
1.1.9. Многоуровневые зонные пластинки
1.2. БрэггФренелевская оптика
1.2.1. БрэггФренеле век ие линзы
1.2.2. БрэггФренелевские линзы на многослойных рентгеновских зеркалах
1.3. Зонные пластинки Френеля скользящего падения
1.4. Рефракционная оптика
1.5. Планарные параболические линзы
Выводы к главе 1
ГЛАВА 2. КОМПЬЮТЕРНОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ И
РАСЧЕТ СТРУКТУР НЫХ ПЛАСТИНОК
2.1. Г еометрия составных зонных пластинок Френеля
2.2. Оптимизированная линейная зонная пластинка
2.3. Эффективность зонных пластинок Френеля с
глубоким поверхностным рельефом
2.4. Компьютерное моделирование и расчет структур зонных пластинок
Выводы к главе 2
ГЛАВА 3. ТЕХНОЛОГИЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ СОСТАВНЫХ ЗОННЫХ ПЛАСТИНОК
3 Л. Изготовление подложек для зонных пластинок
3.2. Электроннолучевая литография
3.3. Глубокое ионноплазменное травление структур
зонной пластинки
3.4. Изготовленные зонные пластинки
3.4.1. Зонные пластинки первого порядка
3.4.2. Зонные пластинки первого и второго порядков
3.4.3. Зонные пластинки первого и третьего порядков
3.4.4. Зонные пластинки первого, второго и третьего порядков
3.4.5. Оптимизированная линейная зонная пластинка
Выводы к главе 3
ГЛАВА 4. ФОКУСИРОВКА ЖЕСТКОГО
РЕНТГЕНОВСКОГО ИЗЛУЧЕНИЯ С ПОМОЩЬЮ
СОСТАВНЫХ ЗОННЫХ ПЛАСТИНОК ФРЕНЕЛЯ
4.1. Двумерная фокусировка рентгеновского излучения на лабораторном источнике
4.2. Экспериментальное исследование изготовленных
зонных пластинок на синхротронном источнике излучения Выводы к главе 4
ОБЩИЕ ВЫВОДЫ И ЗАКЛЮЧЕНИЕ
СПИСОК ЦИТИРУЕМОЙ ЛИТЕРАТУРЫ