Ви є тут

Разработка научных основ создания и совершенствования базовых элементов микроэлектроники и микросистемной техники методами приборно-технологического моделирования

Автор: 
Крупкина Татьяна Юрьевна
Тип роботи: 
докторская
Рік: 
2005
Кількість сторінок: 
234
Артикул:
233108
179 грн
Додати в кошик

Вміст

Введение
1 Роль и задачи приборнотехнологического моделирования на современном этапе.
1.1 Основные проблемы развития методов проектирования в микроэлектронике.
1.2 Этапы развития и основные цели приборнотсхнологичсского моделирования ИТМ
1.3 Проблемы использования ПТМ как метода создания и совершенствования элементов микроэлектроники и микросистем нон техники. Постановка задачи
2. Анализ и классификация объектов и средств приборнотехнологического моделирования
2.1 Классификация технологических операции и технологических маршрутов
как объектов моделирования.
2.2 Основные типы конструктивнотехнологических узлов современных интегральных микросхем.
2.3 Особенности элементов микросистемной техники, как объектов приборнотехнологического моделирования.
2.4 Сравнительный анализ программных средств ПТМ.
3. Разработка концепции эффективного использования ПТМ как метода создания и совершенствования базовых элементов микроэлектроники и микросистемной
Ф техники
3.1 Основные принципы эффективного применения метода приборнотехнологического моделирования.
3.2 Программная среда приборнотехнологического моделирования как основа системы виртуального производства
3.3 Разработка интеллектуальных систем моделирования и управления на основе нейросетевых структур и методов нечеткой логики
4. Разработка методологии применения ПТМ для научного исследования и проектирования элементов шпчлральнон и микросистемной техники
4.1 Специфика объектов ПТМ и выбор программной среды.
4.2 Анализ размерности объекта и распараллеливание вычислений
4.3 Выделение критичных элементов и разработка маршрута моделирования
4.4 Основные этапы применения концепции эффективного использования
5. Методики выполнения основных этапов приборнотехнологического моделирования.
5.1 Выбор моделей для описания объектов ПТМ.
5.2 Методика проведения этапа предварительной калибровки
5.3 Организация моделирования в программной среде виртуального производства
6. Практическая реализация методов приборнотехнологического моделирования
при разработке элементов интегральной и микросистемиой техники
6.1 Проектирование и оптимизация технологических маршрутов
6.2 Проектирование конструктивных элементов быстродействующих КМОП
6.3 Проектирование конструктивных элементов силовых КМОП ИС.
6.4 Моделирование элементов микросистемиой техники
6.5 Моделирование элементов оптоэлектроники.
7. Особенности приборнотехнологического моделирования МОПтранзисторов КНСи КНИтипа
7.1 Транзисторные структуры КНС и КНИтипа как основа радиационностойких И С.
7.2 Учет физических эффектов при построении модели элемента.
7.3 Методика использования ПТМ при расчете трехмерных транзисторных
структур КНС и КНИтипа
Заключение
Список использованных источников