Ви є тут

Разработка и исследование элементной базы интегрированных вакуумных систем и создание на их основе оборудования высоких технологий производства изделий электронной техники

Автор: 

Кеменов Владимир Николаевич

Тип роботи: 

докторская

Рік: 

2000

Кількість сторінок: 

374

Артикул:

1000270007

179 грн

Додати в кошик

• 
• 
• 

Рекомендовані дисертації

• Теоретические и экспериментальные исследования ионизационных преобразователей давления с целью расширения диапазона измерения и создания нового поколения высоковакуумных и сверхвысоковакуумных ионизационных преобразователей давления общего и специального
• Разработка перспективных методов литографии для получения рисунка на внутренней поверхности дефлектрона
• Теоретические и прикладные вопросы создания бескорпусной вакуумной коммутационной аппаратуры и устройств вакуумной механики для многомодульного оборудования высоких технологий
• Новые технохимические процессы и оборудование жидкостного химического снятия слоев полимеров в планарном микроэлектронном производстве
• Моделирование и проектирование электронно-оптических систем оборудования для электронной литографии
• Исследование и разработка пространственных колебательных систем для балансировки неуравновешенных роторов оборудования чистых производств
• Теоретические и экспериментальные исследования ионизационных преобразователей давления с целью расширения диапазона измерения и создания нового поколения высоковакуумных и сверхвысоковакуумных ионизационных преобразователей давления общего и специального
• Разработка методики оценки допустимых уровней дефектности тонких металлических пленок : Применительно к сборке ИС в полимерные корпуса
• Теплофизические исследования и разработка реакторного блока установки быстрой термической обработки
• Теоретические и экспериментальные исследования ионизационных преобразователей давления с целью расширения диапазона измерения и создания нового поколения высоковакуумных и сверхвысоковакуумных ионизационных преобразователей давления общего и специального