- Київ+380960830922
Ви є тут
Введіть ключові слова для пошуку дисертацій:
Разработка методов и средств контроля параметров рекуперации реагентов в безотходных технохимических процессах планарного микроэлектронного производства
Тип роботи:
кандидатская
Рік:
2000
Кількість сторінок:
225
Артикул:
1000293256 179 грн
Рекомендовані дисертації
- Новые технохимические процессы и оборудование жидкостного химического снятия слоев полимеров в планарном микроэлектронном производстве
- Построение исполнительных систем оборудования электронной техники на основе волнового движения
- Исследование и разработка пространственных колебательных систем для балансировки неуравновешенных роторов оборудования чистых производств
- Система диагностики механических элементов вакуумного оборудования
- Теоретические и экспериментальные исследования ионизационных преобразователей давления с целью расширения диапазона измерения и создания нового поколения высоковакуумных и сверхвысоковакуумных ионизационных преобразователей давления общего и специального назначения
- Повышение надежности высоковакуумных механизмов на основе учета влияния обезгаживающего прогрева
- Теоретические и экспериментальные исследования ионизационных преобразователей давления с целью расширения диапазона измерения и создания нового поколения высоковакуумных и сверхвысоковакуумных ионизационных преобразователей давления общего и специального
- Разработка перспективных методов литографии для получения рисунка на внутренней поверхности дефлектрона
- Моделирование и проектирование электронно-оптических систем оборудования для электронной литографии
- Теоретические и прикладные вопросы создания бескорпусной вакуумной коммутационной аппаратуры и устройств вакуумной механики для многомодульного оборудования высоких технологий