Ви є тут

Формирование мелкозалегающих легированных слоев в кремнии диффузией из поверхностного источника в условиях быстрой термической обработки

Автор: 

Варзарев Юрий Николаевич

Тип роботи: 

Кандидатская

Рік: 

1998

Артикул:

1000212145

179 грн

Додати в кошик

• 
• 
• 

Рекомендовані дисертації

• Закономерности релаксации упругих напряжений и диффузия в псевдоморфных SiGe/Si структурах
• Атомная структура и электронно-энергетические характеристики углеродных нанотрубок сложной формы
• Автогенераторы на микрополосковых и объемных резонаторах с поликристаллическим ферритовым заполнением и магнитно-режективной перестройкой
• Нанотубулярные формы бора : особенности электронно-энергетического строения и проводящих свойств
• Неравновесные эффекты в динамике джозефсоновских структур
• Гетероэпитаксиальные планарные структуры из монокристаллического молибдена и ниобия и их электронно-транспортные свойства
• Глубокие энергетические центры в интегральных схемах на арсениде галлия
• Молекулярно-лучевая эпитаксия низкоразмерных систем на основе гетероструктурных и ?-легированных квантовых ям на подложках GaAs различной ориентации
• Моделирование и проектирование монолитных интегральных схем малошумящих усилителей диапазона крайне высоких частот
• Формирование диэлектрических слоев интегральных схем методами химического осаждения