ОГЛАВЛЕНИЕ
Введение
1. Анализ проблем технологии формирования контактов
металлкарбид кремния
1.1. Требования к контактам металлполупроводник
1.2. Контакты к п8Ю на основе тугоплавких металлов
1.2.1. Никель карбид кремния
1.2.2. Титан карбид кремния
1.2.3. Хром карбид кремния
1.2.4. Кобальт карбид кремния
1.2.5. Молибден карбид кремния
1.2.6. Тантал карбид кремния
1.2.7. Вольфрам карбид кремния
1.2.8. Платина карбид кремния
1.2.9. Использование соединений для контактов к пБЮ
1.2. Применение многослойных структур для контактов к пБЮ
1.3. Контакты к рБЮ
1.3.1. Контакты на основе тугоплавких металлов
1.3.2. Палладий карбид кремния
1.3.3. Контакты на основе титана
1.3.4. Контакты на основе алюминия
1.3.5. Сравнение параметров контактов к рБЮ
1.4. Влияние обработки поверхности подложки карбида кремния на электро
физические параметры контактов
1.5. Методы получения силицидов и карбидов тугоплавких металлов
1.6. Выводы
2. Разработка методики выбора материала для формирования контактов к
2.1. Свойства материалов контактов
2.1.1. Структурные особенности кристаллической решетки карбида кремния
2.1.2. Некоторые электрофизические свойства Б1С
2.1.3. Некоторые свойства тугоплавких металлов
2.1.4. Соединения тугоплавких металлов с карбидом кремния
2.1.5. Удельное сопротивление карбидов и силицидов тугоплавких металлов
2.1.6. Температура плавления карбидов и силицидов тугоплавких металлов
2.1.7. Стабильность силицидов и карбидов в окислительных средах.
2.2. Термодинамические закономерности высокотемпературной стабильности структур металлкарбид кремния.
2.2.1. Методы анализа твердофазных реакций и определения термодинамиче
I ских свойств соединений.
2.2.2. Термодинамический анализ стабильности в тройной системе ЫьБьС
2.3. Механические напряжения в контактах к карбиду кремния
2.3.1. Влияние напряжений на параметры микроэлектронных структур
2.3.2. Источники напряжений в пленках.
2.3.3. Напряжения изза различия молярных объемов материалов пленки и подложки.
2.3.4. Термоупругие напряжения
2.3.5. Напряжения изза несоответствия параметров кристаллической решетки пленки и подложки.
2.3.6. Напряжения в структурах контактов к БЮ.
2.3.7. Напряжения в контактах к Б1С на основе никеля и его силицидов
2.4. Выводы.
3. Влияние параметров границы раздела на токопрохождение в контактах к карбиду кремния
3.1. Формирование потенциального барьера в контакте металлполупроводник
3.2. Токопрохождение в контакте металлполупроводник
3.3. Влияние концентрации легирующей примеси и плотности состояний на границе раздела на параметры контактов к карбиду кремния.
3.4. Выводы.
4. Моделирование процессов импульсной термообработки БЮ.
4.1. Особенности методов импульсной термообработки
4.2. Быстрая термообработка некогерентным ИКизлучением БЮ и структур
на его основе.
4.2.1. Отражение и поглощение некогерентного ИКизлучения в БЮ и структурах на его основе.
4.2.2. Общие закономерности нагрева БЮ и структур на его основе при БТО некогерентным ИКизлучением.
4.2.3. Оптимизация реакционной камеры установки БТО для пластин БГС
4.2.4. Оптимизация режимов БТО пластин ЭЮ..
4.2.5. Математическая модель расчета температурных полей в структурах на основе вЮ при БТО некогерентным излучением
4.2.6. Закономерности формирования температурных полей в структурах металлкарбид кремния при БТО некогерентным излучением.
4.3. Температурные поля и термоупругие напряжения в БЮ при электроискровой обработке
4.3.1. Моделирование температурных полей при ЭИО в карбиде кремния
4.3.2. Напряжения в области воздействия ЭИО
4.4. Выводы
5. Экспериментальное исследование влияния импульсной термообработки
на параметры контактов к БЮ
5.1. Влияние режимов БТО на электрические и структурные параметры контактов к БЮ.
5.1.1. Влияние БТО на электрические параметры контактов
5.1.2. Влияние БТО на электрические параметры контактов МпбНБЮ
5.2. Влияния электроискровой обработки на параметры контактов ЬПпбНБЮ
5.3. Применение электроннолучевой обработки в технологии изготовления
контактов для БЮ
5.3.1. Влияние электроннолучевой обработки на морфологию поверхности подложки карбида кремния.
5.3.2. Влияние электроннолучевой обработки на параметры контактов Т1п6НБ1С
5.4. Влияние импульсной термообработки на параметры контактов к рбНБЮ
5.4. Выводы
Заключение.
Список использованных источников
- Київ+380960830922