Формирование и электрические свойства планарных элементов на основе металлических и углеродных пленок наноразмерных толщин

ОГЛАВЛЕНИЕ
Оглавление
Введение
Глава 1. Тенденции в формировании планарных квазиодномерных проводников
1.1. Типы квазиодномерных проводников.
1.2. Основные методы формирования планарных структур
1.3. Развитие методов формирования одномерных проводников с использованием атомносилового микроскопа
1.4. Локальное анодное окисление ЛАО поверхностей.
1.5. Различные макеты одномерных, структур созданных
методом ЛАО.
1.5.1. Гетероструктуры с квантовой ямой.
1.5.2. Одноэлектронный транзистор.
1.5.3. Устройства с квантовыми точками
1.5.4. Структуры с туннельными барьерами на основе металлических проводников
Выводы по главе 1
Глава 2. Разработка методик формирования планарных элементов на основе квазиодномерных проводников с использованием локального анодного окисления.
2.1. Влияния адсорбата воздуха на процесс окисления.
2.1.1. Разработка методики измерения толщины адсорбата воздуха на поверхностях различных объектов
2.1.2. Влияние электростатического взаимодействия в системе кантилевер адсорбат воздуха металлическая пленка на локальное окисление
2.1.3. Локальное анодное окисление в условиях контролируемой
влажности окружающей среды.
2.2. Создание квазиодномерного проводника методом локального анодного окисления.
2.2.1. Окисление на примере титановых пленок
в контактном режиме
2.2.2. Окисление наносужений, инициированное током.
2.2.3. Электрические свойства сформированных наноконтактов
Выводы по главе 2.
Глава 3. Создание и исследование планарных
элементов наноэлектроники.
3.1. Разработка методики формирования тестового кристалла
3.2. Модуляция проводимости квазиодномерного канала внешним полем на основе танталовых пленок.
3.2.1. Теоретические оценки полевого эффекта
на основе танталовых пленок
3.2.2. Особенности реализации полевого управления квазиодномерным каналом на основе танталовых пленок.
3.2.3. Изменение проводимости квазиодномерных металлических проводов поперечным электрическим полем.
3.2.4. Вольтамперные характеристики и управление проводимостью
квазиодномерного провода островкового типа.
3.3. Модуляция проводимости квазиодномерного проводника
на основе углеродных пленок
Выводы по главе 3.
Заключение.
Благодарности
Список сокращений.
Список литературы