Построение лазерной измерительной информационной системы для контроля отклонений от прямолинейности на принципах поляризационной интерферометрии с дифракционной решеткой

ОГЛАВЛЕНИЕ
ВВЕДЕНИЕ.
ГЛАВА 1. АНАЛИЗ СОСТОЯНИЯ ПРОБЛЕМЫ КОНТРОЛЯ ОТКЛОНЕНИЙ ОТ ПРЯМОЛИНЕЙНОСТИ
1.1. Состояние проблемы измерения отклонений от прямолинейности.
1.2. Анализ механических и оптикомеханических методов измерения отклонений от прямолинейности
1.3. Анализ интерференционных методов измерения отклонений от прямолинейности
1.4. Оптическое гетеродинирование и гетеродинные интерференционные
методы измерения отклонений от прямолинейности
1.5 Требования к точности средств измерений для контроля отклонений от
прямолинейности в машино и приборостроении.
1.6. Постановка задачи исследования.
ГЛАВА 2. ТЕОРЕТИЧЕСКИЕ ИССЛЕДОВАНИЯ ИНФОРМАЦИОННОЙ ЛАЗЕРНОЙ ИНТЕРФЕРЕНЦИОННОЙ ИЗМЕРИТЕЛЬНОЙ СИСТЕМЫ ДЛЯ КОНТРОЛЯ ОТКЛОНЕНИЙ ОТ ПРЯМОЛИНЕЙНОСТИ
2.1. Принцип построения лазерной гетеродинной измерительной информационной системы для контроля отклонения от прямолинейности
2.2. Математическое описание и структурная схема оптических преобразований в ИИС.
2.3. Математическая модель дифракционных преобразований.
2.3.1. Математическая модель дифракции света на рештке.
2.3.2. Математическая модель акустооптического преобразования.
2.4. Математическая модель поляризационных преобразований.
2.5. Обобщенная математическая модель оптических преобразований в лазерной гетеродинной ИИС
2.6. Анализ потенциальной точности лазерной гетеродинной ИИС
2.7. Основные выводы
ГЛАВА 3. РАЗРАБОТКА И ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ЛАЗЕРНОЙ ИНТЕРФЕРЕНЦИОННОЙ ИЗМЕРИТЕЛЬНОЙ СИСТЕМЫ ДЛЯ
КОНТРОЛЯ ОТКЛОНЕНИЙ ОТ ПРЯМОЛИНЕЙНОСТИ
3.1. Экспериментальные исследования.
3.1.1. Позиционная чувствительность дифракционной решетки.
3.1.2. Сведение лучей на поляризационных элементах.
3.2. Макет измерительной интерференционной системы.
3.2.1. Гомодинный поляризационный интерферометр для измерения отклонений от прямолинейности
3.2.2. Гетеродинный поляризационный интерферометр для измерения отклонений от прямолинейности
3.3. Метрологическое исследование влияния технологических погрешностей изготовления оптических элементов
3.3.1. Влияние погрешности изготовления дифракционной решетки
3.3.1.1. Влияние погрешности шага рештки на результат измерений. .
3.3.1.2. Влияние погрешности формы штриха решетки на результат измерений.
3.3.1.3. Погрешность сведения лучей изза погрешности шага дифракционной рештки.
3.3.1.4. Погрешность сведения лучей изза погрешности формы подложки рештки
3.3.2. Влияние погрешности изготовления поляризационных элементов.
3.3.2.1. Угловая погрешность изготовления призм Волластона
3.3.2.2. Погрешность поляризации
3.3.3. Влияние погрешности источника лазерного излучения.
3.3.3.1. Влияние угловой погрешности падающего излучения
3.3.3.2. Угловая погрешность изза погрешности длины волны падающего излучения.
3.3.3.3. Влияние рефракции на результат измерений.
3.4. Выводы
ГЛАВА 4. ПУТИ ДАЛЬНЕЙШЕГО РАЗВИТИЯ ЛАЗЕРНОЙ ИЗМЕРИТЕЛЬНОЙ ИНТЕРФЕРЕНЦИОННОЙ СИСТЕМЫ.
4.1. Модификация ИИС
4.2. Применение ИИС для измерения отклонений от перпендикулярности двух осей.
4.3. Применение ИИС для измерения отклонения от параллельности двух осей
4.4. Применение ИИС для измерения отклонений от плоскостности
4.5. Интерферометр для измерения углов поворота.
4.6. Интерферометр для измерения отклонений от прямолинейности движения в пространстве.
4.7. Выводы.
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
ЛИТЕРАТУРА