СОДЕРЖАНИЕ
СОДЕРЖАНИЕ
ГЛАВА 1. ВВЕДЕНИЕ
ГЛАВА 2. ГЕНЕРАЦИЯ ДИСЛОКАЦИЙ И РАЗРУШЕНИЕ ПОВЕРХНОСТИ КРЕМНИЯ ПРИ ВОЗДЕЙСТВИИ ИМПУЛЬСНОПЕРИОДИЧЕСКОГО ИЗЛУЧЕНИЯ УАСЫс1 ЛАЗЕРА
2.1. Генерация дислокаций при лазерном воздействии и многоимпульсное лазерное разрушение поверхности
кремния введ. к гл. 2.
2.2. Эксперимент. Экспериментальная установка
2.3. Исследование разрушения поверхности образцов при
лазерном воздействии одиночных импульсов
2.4. Экспериментальные результаты полученные при импульснопериодическом лазерном воздействии в вакууме.
2.5. Результаты исследования поверхности облученных образцов после обработки в травителе
2.6. Интерпретация полученных результатов и оценки
размера образующихся дислокаций.
2.7. Выводы по гл. 2
ГЛАВА 3. ВЛИЯНИЕ ВНЕШНЕЙ АТМОСФЕРЫ НА ПРОЦЕССЫ ОБРАЗОВАНИЯ СТРУКТУРНЫХ ДЕФЕКТОВ И РАЗРУШЕНИЯ ПОВЕРХНОСТИ КРЕМНИЯ ПРИ ЛАЗЕРНОМ ВОЗДЕЙСТВИИ
3.1. Диффузия газов в обогащенном дефектами поверхностном
слое материала при лазерном воздействии введ. к гл. 3
3.2. Экспериментальные результаты, полученные при воздействии одиночных лазерных импульсов в на образцы в атмосфере газов
3.3. Экспериментальные результаты, полученные при импульснопериодическом лазерном воздействии на воздухе
3.4. Интерпретация наблюдаемых в эксперименте аномальных изменений сигнала рассеяния луча пробного лазера.
3.5. Выводы по гл. 3
ГЛАВА 4. СВЕЧЕНИЕ, НАБЛЮДАЕМОЕ ПРИ ЛАЗЕРНОМ ТВЕРДОФАЗНОМ РАЗРУШЕНИИ ПОВЕРХНОСТИ КРЕМНИЯ.
4.1. Эмиссия частиц, сопровождающая начальные стадии разрушения материалов введ. к гл. 4
4.2. Экспериментальная установка и диагностика свечения
при лазерном твердофазном разрушении поверхности кремния
4.3. Результаты регистрации свечения в плоскости,
касательной к поверхности образца.
4.4. Результаты свечения поверхности
4.5. Интерпретация наблюдаемых экспериментальных фактов свечения в надповерхностной области образца
4.6. Интерпретация зарегистрированного в эксперименте свечения поверхности при воздействии лазерных импульсов
4.5. Выводы по гл. 4
ЗАКЛЮЧЕНИЕ.
ЛИТЕРАТУРА
- Київ+380960830922