Активный элемент одномодового полупроводникового лазера повышенной мощности

Оглавление.
Введение.
Конструкции полуроводниковых лазеров ППЛ.
Этапы развития, технологические особенности и достигнутые параметры.
Лазер с гребневидным волноводом.
Технология изготовления элемента с гребневидным волноводом.
Методы формирования мезы.
Последующие технологические операции.
Исследование ключевых технологических процессов
изготовления одномодовых полупроводниковых лазеров.
Исследование процесса ионнохимического травления.
Влияние ионнохимической обработки на фотолюминесценцию.
Оптимизация технологических процессов изготовления активного элемента с гребневидным волноводом.
Исследование механических напряжений, возникающих в процессе изготовления активного элемента ППЛ.
Примеры практического использования исследованного технологического комплекса. А0, мкм.
Исследование параметров лазерных диодов на 0, мкм, изготовленных по оптимизированному технологическому маршруту.
Возможные пути повышения мощности лазерных диодов в одномодовом режиме генерации.
Промышленное использование.
Основные результаты и выводы.
Библиография