Вы здесь

Мониторинг плазмохимических процессов формирования микро- и наноструктур методами зондовой диагностики

Автор: 
Мяконьких Андрей Валерьевич
Тип работы: 
кандидатская
Год: 
2009
Количество страниц: 
125
Артикул:
233066
129 грн
(417 руб)
Добавить в корзину

Содержимое

Оглавление
Список аббревиатур
Введение
Глава 1. Плазмохимические технологии микроструктурирования и их
диагностика.
Плазменные источники для микроэлектронной технологии
Методы диагностики плазмохимических процессов
микроструктурирования.
Электрические зондовые методы и теория зондовых измерений .
Применение зондового метода в химически активных газах
Методы детектирования момента окончания травления
многослойных структур.
Выводы.
Глава 2. Исследование возможностей зонда Ленгмюра для диагностики
плазмы в условиях осаждения полимерных пленок
Идея метода динамических зондовых измерений
Условия зондовых измерений в камере плазмохимического
ректора.
Время установления стационарного зондового слоя
Скорость осаждения непроводящих пленок на зонд.
Метод динамического ленгмюровского зонда
Явление паразитной термоэлектронной эмиссии
Выводы.
Глава 3. Мониторинг процессов плазмохимического травления методом
зонда Ленгмюра
Контроль стабильности условий в камере в ходе травления
Методика детектирования момента окончания травления
Детектирование момента окончания травления в окислительной плазме.
Детектирование момента окончания травления в
полимерообразующей плазме.
Мониторинг состояния камеры реактора в ходе серий процессов
травления.
Выводы
Глава 4. ФРЭЭ в плазме технологических газовых смесей и пути
минимизации нескомненсированной зарядки структур при травлении
Эффекты некомпенсированной зарядки структур при плазменном
травлении.
Методы определения ФРЭЭ из зондовых ВАХ i i.
Исследование ФРЭЭ при травлении микроструктур.
Выводы.
Заключение
Список цитируемой литературы