Устойчивость атомарной структуры оксида кремния после радиационно-термической обработки МОП приборов

ВВЕДЕНИЕ
ГЛАВА 1. ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ.
1.1 Эффекты радиационнотермической обработки
1.2 Атомарное строение оксида кремния в МОПструктуре
1.2.1 Полиморфизм оксида кремния
1.2.2 Ближний порядок в атомарной структуре оксида кремния
1.2.3 Изменение характеристик ближнего порядка атомарной структура оксида кремния после облучения и термообработки.
1.2.4 Механические напряжения в МОП структуре.
1.2.5 Электронная структура оксида кремния
1.3 Радиационные дефекты в оксиде кремния и их отжиг
1.4 Постановка задачи.
1.5 Выводы по главе.
ГЛАВА 2. РЕЗУЛЬТАТЫ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫХ ИССЛЕДОВАНИЙ
2.1 Исследование изменения концентрации ловушечных центров в оксиде кремния рканальных МОП транзисторов при радиационнотермической обработке.
2.1.1 Методика эксперимента и обработки экспериментальных данных.
2.1.2 Результаты эксперимента.
2.2 Исследование изменения концентрации ловушечных центров в оксиде кремния КМОП инверторов при радиационнотермической обработке
2.2.1 Методика эксперимента и обработки экспериментальных данных.
2.2.2 Результаты эксперимента.
2.3 Исследование тестовых МОП структур методом вольтфарадных характеристик после радиационнотермической обработки при высокой интенсивности облучения.
2.3.1 Методика эксперимента и обработки экспериментальных данных.
2.3.2 Результаты эксперимента
2.4 Исследование тестовых МОП структур методом вольтфарадных характеристик после радиационнотермической обработки при низкой интенсивности облучения.
2.4.1 Методика эксперимента и обработки экспериментальных данных.
2.4.2 Результаты эксперимента.
2.5 Исследование влияния облучения и термообработки на структурные характеристики термического оксида кремния
2.5.1 Методика эксперимента и обработки экспериментальных данных.
2.5.2 Методика расчета характеристик ближнего порядка.
2.5.3 Анализ ошибок эксперимента
2.5.4 Результаты эксперимента.
2.6 Исследования влияния радиационнотермической обработки на ИМС иностранного производства.
2.6.1 Методика эксперимента и обработки экспериментальных данных.
2.6.2 Результаты эксперимента.
2.7 Выводы по главе.
ГЛАВА 3. АНАЛИЗ ПРОЦЕССА ПЕРЕСТРОЙКИ АТОМАРНОЙ СТРУКТУРЫ ОКСИДА КРЕМНИЯНАРАЗНЫХ ЭТАПАХ РТО.
3.1 Энтропия атомарной.структуры оксида кремния, связанная с разбросом углов связи.
3.2 Изменение энтропии атомарной структуры 8Ю2 при облучении ионизирующим излучением.
3.3 Изменение энтропии атомарной структуры БЮг при термообработке после облучения.
3.4 Изменение свободной энергии атомарной структуры 8Ю2 после этапов РТО.
3.5 Расчет термодинамических параметров по экспериментальным данным
3.6 Оптимизация методики применения РТО для повышения стойкости МОП ИМС к воздействию ионизирующего излучения.
3.7 Выводы по главе
ЗАКЛЮЧЕНИЕ.
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ