Вы здесь

Комплексные исследования электрофизических свойств термически окисленных слоев кремния в производстве полупроводниковых приборов с проектной нормой 0,5-0,8 мкм

Автор: 
Дудников Анатолий Сергеевич
Тип работы: 
кандидатская
Год: 
2002
Количество страниц: 
113
Артикул:
232879
129 грн
(417 руб)
Добавить в корзину

Содержимое

ВВЕДЕНИЕ.
ГЛАВА 1. ФУНДАМЕНТАЛЬНЫЕ СВОЙСТВА ДИОКСИДА КРЕМНИЯ.
1.1. Структурные характеристики
1.2. Особенности строения тонких плнок диоксида кремния
1.3. Характер переходной области в системе iii
1.4. Механические напряжения в системе ii
1.5. Структурная и электрофизическая неоднородности термически окисленных слоев кремния.
ГЛАВА 2. ОСНОВНЫЕ МЕХАНИЗМЫ ПРОВОДИМОСТИ ПЛЕНОК
ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ СЛОЕВ В СИСТЕМЕ ii.
2.1. Предпробойная проводимость и эффект переключения.
2.2. Примесностимулированная и прыжковая проводимость
2.3. Омическая и туннельная проводимость
2.4. Инжекционная проводимость тонких пленок
Эмиссия Шоттки
Эффект ФренкеляПула
Инжекция ФаулераНордгейма
2.5. Термохимическая модель пробоя
2.6. Модель захвата дырок.
2.7. Физическая сторона времязавнеимого пробоя
2.8. Механизм пробоя оксида.
ГЛАВА 3. МЕТОДИКА КОНТРОЛЬНЫХ ЭКСПЕРИМЕНТОВ ПО ОПРЕДЕЛЕНИЮ
ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ ПЛЕНОК i
3.1. Методика зависимого от времени электрического пробоя диэлектриков
3.2. Моделирование времязавнеимого пробоя диэлектрика методом МонтеКарло
3.3. Методика контроля вольтфарадных характеристик МДГГструктуры.
3.4. Лабораторный программно измерительный комплекс ЛПИК контроля электрофизических параметров МДПструктур. Описание методов и алгоритмов программного обеспечения
ГЛАВА 4. РЕЗУЛЬТАТЫ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫХ ИССЛЕДОВАНИЙ
4.1. Экспериментальные образцы структура и технология
4.2. Измерение высокочастотных вольтфарадных характеристик, предпробойных
токов, пробивных полей и времени до пробоя в тестовых структурах
4.3. Сгуктурнопрнмесные и электрофизические особенности систем iii в
зависимости от режимов ее формирования
4.4. Обсуждение полученных результатов
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
ПРИЛОЖЕНИЕ.
ЛИТЕРАТУРА