СОДЕРЖАНИЕ
ВВЕДЕНИЕ
ГЛАВА 1 Современные методы уменьшения воздействия искажающих факторов,
влияющих на точность позиционирования зонда в СЗМ
1.1Структура сканирующего зондового микроскопа и основные методики измерении
1.2 Искажения СЗМ изображений.
1.3 Методики снижения величины искажений, вносимых пьезоэлекгрнческнм сканером
1.4 Уменьшение влияния температурного дрейфа
1.5 Уменьшение влияния акустических и механических вибраций.
1.6 Уменьшение влияния шумов
1.7 Выводы.
ГЛАВА 2. РАЗРАБОТКА СИСТЕМЫ СПЕЦИАЛИЗИРОВАННЫХ МИКРОСХЕМ
ДЛЯ РЕАЛИЗАЦИИ ВЫСОКОТОЧНОГО ПОДДЕРЖАНИЯ ТЕМПЕРАТУРЫ
2.1 Анализ возможных решений и разработка блоксхемы высокоточного поддержании температуры на поверхности образца
2.2 Моделирование и разработка функциональнологической схемы центральной логики
2.3 Моделирование и разработка функциональнологических схем контроллера шины иБВ и контроллера вводавывода.
2.4 Разработка программы управления вычислителем
2.5 Выводы
ГЛАВА 3. УМЕНЬШЕНИЕ ТЕМПЕРАТУРНОГО ДРЕЙФА, СВЯЗАННОГО С ВЛИЯНИЕМ ГРАДИЕНТА ТЕМПЕРАТУРЫ ВНУТРИ ИЗМЕРИТЕЛЬНОГО
БЛОКА .
3.1 Исследование влияния градиента температуры внутри измерительного блока на величину температурного дрейфа.
3.2 Структурные схемы модифицированного термоконтроллера с повышением точностью измерения температуры.
3.3 Выводы
ГЛАВА 4. ИНТЕРПРЕТАЦИЯ ПОЛУЧАЕМЫХ ДАННЫХ И РАЗРАБОТКА
МЕТОДИКИ КАЛИБРОВКИ ТЕРМОКОНТРОЛЛЕРА
4.1 Методика определения температуры в ВТС1ЧТЕ
4.2 Методика определения температуры в модифицированном термоконтроллере.
Разработка методики калибровки модифицированного термоконтроллера
4.4 Выводы.
ГЛАВА 5. АПРОБАЦИЯ РЕЗУЛЬТАТОВ РАБОТЫ
5.1 Конструктивные особенности модифицированного тсрмоконтроллсра
5.2 Исследование работы модифицированного термоконтроллера в составе
прибора ИНТЕГРА Терма
Выводы
Заключение .
СПИСОК ИСПОЛЬЗУЕМОЙ ЛИТЕРАТУРЫ
- Київ+380960830922