СОДЕРЖАНИЕ
ВВЕДЕНИЕ.
Глава 1 МИКРО И НАНОЭЛЕКТРОМ ПХ АНИ ЧЕСКИ Е СИСТЕМЫ МЭМС И НЭМС. ОБЗОРНОАНАЛИТИЧЕСКИЕ ИССЛЕДОВАНИЯ В ОБЛАСТИ РАБОТ ПО СОЗДАНИЮ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕЙ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ ТУННЕЛЬНОГО ЭФФЕКТА.
1.1 Место технологий МЭМС И НЭМС в современном приборостроении
1.2 Основные работы по созданию преобразователей физических величин
на основе туннельного эффекта..
Постановка задач исследований.
Глава 2 РАЗРАБОТКА МОДЕЛЕЙ ПОВЕДЕНИЯ ЧУВСТВИТЕЛЫ1ЫХ ЭЛЕМЕНТОВ ТУННЕЛЬНОГО ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЯ ПОД ДЕЙСТВИЕМ ЭКСПЛУАТАЦИОННЫХ НАГРУЗОК.
2.1 Конечноэлементный расчет напряженнодеформированного состояния многослойных упругих чувствительных элементов туннельного преобразователя
2.1.1 Методика расчета динамического напряженнодеформированного состояния многослойных пластин.
2.1.2 Пример применения изложенной методики для расчета прогиба диафрагмы УЧЭ туннельного преобразователя под действием внешней нагрузки.
2.2 Анализ эффекта охлопывания электродов i iii электростатического актюатора УЧЭ туннельного преобразователя
2.2.1 Простейшая модель упругого элемента пластина на упругом подвесе
2.2.2 Упругий элемент диафрагма конечной толщины и произвольной
геометрии.
2. Особенности функционирования электростатических актюаторов с субмикронным межэлектродным зазором. Расчет отклонения диафрагменного актюатора под действием электрического поля.
Выводы по Главе 2
Глава З РАЗРАБОТКА ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО МАРШРУТА ИЗГОТОВЛЕНИЯ МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИХ ПОДВИЖНЫХ ПОЛИКРЕМНИЕВЫХ СТРУКТУР ДИАФРАГМЕННОГО И БАЛОЧНОГО ТИПА
3.1 Первый этап разработки технологии изготовления УЧЭ. Эскизный технологический маршрут. Изготовление первой экспериментальной партии образцов. Специальные операции формирования рельефа иглы и платиновой металлизации.
3.1.1 Характеристики конструкции и технологического процесса изготовления первых образцов УЧЭ монолитного туннельного преобразователя.
3.1.2 Формирование кремниевого микрорельефа иглы
3.1.3 Результаты контроля экспериментальных образцов, изготовленных по эскизному технологическому маршруту первого этапа разработки.
3.1.4 Выводы по результатам разработки эскизного технологического маршрута изготовления УЧЭ туннельного преобразователя первог о этапа разработки и рекомендации к следующим этапам отработки технологического маршрута.
3.2 Второй этап разработки технолог ии изготовления УЧЭ. Отработка технологии нанесения рисунка металлизации
3.2.1 Общие характеристики топологии тестовых структур и технологического процесса второго этапа разработки
3.2.2 Разработка технологии формирования рисунка металлизации.
3.2.2.1 Разработка технологического процесса формирования рисунка металлизации на основе платины.
3.2.2.2 Разработка технологического процесса формирования рисунка металлизации па основе силицида платины
3.2.2.3 Исследование структурных и электрофизических характеристик электродов из силицида платины на различных стадиях технологического процесса
3.2.3 Результаты РЭМконтроля экспериментальных образцов, изготовленных по технологическому маршруту второго этапа разработки
3.2.4 Результаты электроизмерений экспериментальных образцов, изго
товленных по технологическому маршруту второго этапа разработки.
3.2.5 Закоротки и обрывы проводников. Механизмы возникновения и методы борьбы.
3.2.6 Выводы но результатам второго этапа разработки технологического маршрута изготовления УЧЭ туннельного преобразователя.
3.3 Рекомендации к выполнению третьего этапа разработки технологии
изготовления УЧЭ туннельного преобразователя.
Выводы по Главе 3
Глава 4 ГОЛОГРАФИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ ОПРЕДЕЛЕНИЯ УПРУГИХ СВОЙСТВ ЭЛЕМЕНТОВ МИКРО И НАНОМЕХАНИЧЕСКИХ СИСТЕМ.
4.1 Интерференционные оптические методики контроля смещений диффузно отражающих микрообъектов.
4.2 Описание эксперимента и полученных результатов.
4.3 Применение методов голографической интерферометрии повышенной чувствительности для контроля микросмещеиий диффузно отражающих
элементов микро и наномеханических устройств
Выводы по Главе 4
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
ЛИТЕРАТУРА
- Київ+380960830922