Разработка и исследование тонкопленочных датчиков теплового потока для установок промышленной теплоэнергетики

Содержание
Введение
Глава 1. Обзор конструкций и характеристик датчиков теплового
потока, используемых в тепломстрии
1.1. Основные методы измерения тепловых потоков.
1.2. Классификация ДТП и их конструктивные характеристики
1.2.1. Одиночные ДТП продольного типа.
1.2.2. Батарейные ДТП продольного типа
1.2.3. ДТП поперечного типа.
1.3. Методы градуировки датчиков тепловых потоков
Глава 2. Технология получения тонких пленок путем термического
испарения материалов в вакууме.
2.1. Основные методы вакуумного нанесения тонких пленок
2.2. Кинетика и термодинамика формирования пленок в вакууме.
2.3. Особенности углового распределения испаряемых атомов
2.4.Технологические особенности вакуумного термического напыления
2.4.1. Основные требования к испарителям вакуумных
установок.
2.4.2. Требования к поверхности подложек при напылении
2.4.3. Контроль скорости напыления и толщины пленок
2.5. Установка ВУП5 для вакуумного термического напыления.
Глава 3. Экспериментальное исследование тонкопленочных датчиков
теплового потока.
3.1. Строение тврдых тел и их теплофизические свойства.
3.1.1. Межатомные связи и структура твердых тел.
3.1.2. Теплофизические свойства материалов для
тонкопленочных датчиков теплового потока
3.2. Конструкция и технология изготовления тонкопленочных датчиков теплового потока.
3.2.1. Материалы термопар и подложки.
3.2.2. Маски для вакуумного напыления термоэлектродов
3.2.3. Технология изготовления датчиков теплового потока 3.3. Градуировка тонкопленочных датчиков теплового потока. .
3.3.1. Градуировка тонкопленочных термопар.
3.3.2. Градуировка тонкопленочных датчиков теплового
потока.
3.4. Атомносиловая микроскопия термоэлектродов датчиков.
Глава 4. Использование тонкопленочных датчиков теплового потока в
теплотехнических экспериментах
4.1. Определение коэффициентов теплоотдачи и тепловых потерь на лабораторном стенде.
4.1.1. Определение коэффициентов теплоотдачи
4.1.2. Измерение тепловых потерь изолированного
трубопровода
4.1.3. Погрешности тепловых измерений с помощью ДТП
4.2. Измерение тепловых потерь на теплоэнергетическом оборудовании МГТУ им. А.Н.Косыгина.
Основные результаты и выводы.
Список литературы