Вплив умов осадження плазмохімічних Si-C-N, Ti-N-C покриттів на їх структуроутворення та властивості

ЗМІСТ
УМОВНІ CКОРОЧЕННЯ
ВСТУП
РОЗДІЛ І. МЕТОДИ ОСАДЖЕННЯ, СТРУКТУРА ТА ВЛАСТИВОСТІ ЗНОСОСТІЙКИХ ТОНКОПЛІВКОВИХ ПОКРИТТІВ НА ОСНОВІ Si-C-N,
Ti-N-C
1.1. Методи осадження та прекурсори
1.2. Карбідокремнієві покриття
1.3. Покриття із карбонітриду кремнію
1.4. Покриття на основі нітриду титану
1.5. Композитні покриття на основі TiN(C) та SiC(N)
1.6. Висновки до
розділу І
РОЗДІЛ ІІ. ДЕТАЛІ РЕАЛІЗАЦІЇ ПЛАЗМОХІМІЧНОГО МЕТОДУ ОСАДЖЕННЯ ПОКРИТТІВ НА ОСНОВІ Si-C-N, Ti-N-C. МЕТОДИКА ВИМІРЮВАНЬ
2.1. Характеристика вихідних матеріалів та вимоги до них
2.2. Опис плазмохімічної установки
2.2.1. Функціональна схема плазмохімічної установки та її принцип дії
2.2.2. Внутрішньореакторний пристрій
2.2.3. Основний ВЧ генератор та генератор зміщення
2.2.4. Система газорозподілу реагентів
2.2.5. Вакуумна система
2.2.6. Вибір оптимального технологічного режиму роботи установки
2.3. Вимоги до підкладок та їх підготовка для осадження покриттів
2.4. Фізико-механічні методи дослідження покриттів
2.5. Висновки до
розділу II
РОЗДІЛ ІІІ. КАРБІДОКРЕМНІЄВІ ПОКРИТТЯ
3.1. Технологічні параметри плазмохімічного осадження SiC покриттів
3.2. Кінетика росту покриттів
3.3. Дослідження складу покриття та морфології його поверхні
3.4. Дослідження впливу параметрів осадження на структуроутворення покриттів засобами інфрачервоної спектроскопії
3.5. Механічні властивості
3.6. Адгезія, коефіцієнт тертя та зносостійкість
3.7. Висновки до
розділу ІІІ
РОЗДІЛ ІV. ПОКРИТТЯ ІЗ КАРБОНІТРИДУ КРЕМНІЮ
4.1. Особливості осадження та дослідження SiCN покриттів
4.2. Шорсткість поверхні SiCN покриттів
4.3. Дослідження структури SiCN покриттів
4.4. Механічні властивості
4.5. Висновки до
розділу ІV
РОЗДІЛ V. ПОКРИТТЯ НА ОСНОВІ TIN(С), SIC(N)
5.1. Одношарові TiN покриття
5.1.1. Режими плазмохімічного осадження TiN покриттів
5.1.2. Дослідження складу і структури
5.1.3. Механічні властивості
5.2. Багатошарові покриття на основі TiN
5.2.1. Режими осадження багатошарових покриттів
5.2.2. Рентгенографічні дослідження
5.2.3. Трибомеханічні властивості
5.3. Нанокомпозитні покриття на основі TI-N-C, Sі-C-N
5.3.1. Режими осадження
5.3.2. Рентгеноструктурні дослідження
5.3.3. Механічні і трибологічні властивості
5.4. Висновки до
розділу V
ВИСНОВКИ
СПИСОК