Содержание.
Введение.
Литературный обзор. Состояние проблемы получения арсина и фосфина, аналитического контроля гидридных газов и их очистки от примесей.
Теплофизические свойства гидридных газов.
Химические свойства гидридных газов
Общие методы получения гидридных газов
Методы получения фосфина
Методы получения арсина.
Свойства арсенида и фосфида металлов и методы их получения
Методы аналитического контроля арсина, фосфина и газовых
смесей на их основе.
Состав серийно выпускаемых гидридных газов и требования,
предъявляемые к их чистоте
Способы очистки газов от кислорода и паров воды адсорбционные,
диффузионные, ректификационные, химические.
Глава 1. Выбор оптимального направления разработки экологически
безопасных методов получения арсина и фосфина.
Глава 2. Описание макета микрогенератора МГ арсина и фосфина
Глава 3. Разработка математической модели получения гидридных газов с
помощью МГ
Глава 4. Лабораторные испытания и исследования опытного образца МГ
арсина.
4.1. Определение работоспособности опытного образца МГ А .
4.2. Исследования оптимальных технологических параметров МГЛ. .
4.3. Результаты укрупненных лабораторных испытаний МГ
4.4. Усовершенствование конструкции опытного образца МГ
арсина по результатам испытаний.
4.5. Анализ арсенида магния и определение концентрации арсина
в газовой смеси и воздухе рабочих помещений.
Глава 5. Промышленные испытания МГ арсина подбор технологических
режимов работы МГ А.
Глава 6. Лабораторные испытания опытного образца МГ фосфина и
исследования влияния параметров МГ фосфина на улучшение состава
фосфинсодержащих газовых смесей
6.1. Цель испытаний.
6.2. Составление технических требований к опытным образцам МГ фосфина.
6.3. Программа и методика испытаний МГФ.
6.4. Результаты испытаний МГФ.
6.5. Усовершенствование конструкции МГФ по результатам проведенных испытаний.
6.6. Анализ фосфина и примесей в газовых смесях.
6.7. Разработка научнотехнической документации на опытный образец МГФ.
Глава 7. Исследование возможности создания МГ моносилана
и дисилана
Глава 8. Разработка технологии очистки гидридных газов.
8.1. Разработка устройства финишной очистки газов УФОГ
со сплавом Галама.
8.2. Испытания УФОГ на предприятиях и исследования степени очистки газов
8.3. Очистка газов с помощью газового очистителя.
8.4. Создание стенда проверки сорбционных колонок поглотительного устройства.
Глава 9. Разработка технологии синтеза арсенида и фосфида магния
9.1. Исследование условий проведения синтеза арсенида магния
9.2. Синтез фосфида магния.
Глава . Разработка технологии переработки фосфор и мышьяксодержащих отходов
.1. Исследование метода переработки фосфорсодержащих
отходов
.2. Исследование метода переработки мышьяксодержащих
отходов
Библиография
- Киев+380960830922