Вы здесь

Исследование хемосорбционного взаимодействия при формировании приповерхностных легированных слоев в полупроводниках и пленок на их поверхности в технологических процессах диффузии и осаждения

Автор: 

Королев Алексей Николаевич

Тип работы: 

докторская

Год: 

1998

Количество страниц: 

169

Артикул:

1000242007

179 грн

Добавить в корзину

• 
• 
• 

Рекомендуемые диссертации

• Моделирование процессов диффузии в неоднородных структурах твердотельной электроники
• Генерация неравновесных точечных дефектов и сопутствующие ей эффекты при физико-химических воздействиях на поверхность кристаллов
• Исследование процессов формирования контактов и границы активного слоя с целью повышения воспроизводимости и улучшения характеристик СВЧ полевых транзисторов
• Особенности образования наноостровков в многослойных SiGe гетероструктурах и метод селективного легирования SiGe структур сегрегирующими примесями
• Мультисенсорные системы распознавания газов на основе металло-оксидных тонких пленок и наноструктур
• Разработка и оптимизация конструктивных и технологических решений туннельных нанопреобразователей
• Разработка методов проектирования элементов МОЭМС, изготавливаемых по технологии поверхностной микрообработки
• Экспериментальное исследование кинетических магнитных эффектов в висмуте и алюминиевых сверхпроводящих микроструктурах
• Комплексные исследования электрофизических свойств термически окисленных слоев кремния в производстве полупроводниковых приборов с проектной нормой 0,5-0,8 мкм
• Анализ отказов и разработка технических мероприятий по повышению надежности СВЧ твердотельных модулей для радиолокационных станций