Разработка и исследование координатных детекторов на арсениде галлия для цифровых рентгеновских аппаратов

СОДЕРЖАНИЕ
ВВЕДЕНИЕ.
ГЛАВА 1. КООРДИНАТНЫЕ ДЕТЕКТОРЫ НА ОСНОВЕ ПОЛУПРОВОДНИКОВ ЫХ СТРУКТУР ДЛЯ ЦИФРОВЫХ РЕНТГЕНОВСКИХ АППАРАТОВ Литературный обзор . . . . .
1.1. Координатные детекторы б современных медицинских аппаратах.
1.2. Материалы для полупроводниковых детекторов .
1.3. Современное состояние дел по созданию детекторов ионизирующего из
лучения на основе арсенида галлия .
1.3.1. Детекторы на основе полу изолирующего арсенида галлия .
1.3.2. Детекторы па основе эпитаксиального арсенида галлия .
1.3.3. Детекторы на основе арсенида галлия, компенсированного хромом .
1.4. Выводы к главе
ГЛАВА 2. ИССЛЕДОВАНИЕ ДЕТЕКТОРНЫХ СТРУКТУР НА ОСНОВЕ
ПОЛУИЗОЛИРУЮЩЕГО АРСЕНИДА ГАЛЛИЯ .
2Л. Исследование амплитудных спектров ОаАзСг структур . .
2.2. Исследование вольтамперных характеристик СаАя детекторных
структур .
2.3. Токопсреиос в детекторах из арсенида галлия, компенсированного хро
2.4. Измерение высоты барьера на границе металлполу изолирующий арсс
нид галлия .
2.5. Динамика формирования фотоответа в детекторной структуре из арсс
нида галлия .
2.5.1. Воздействие излучением оптического диапазона . .
2.5.2. Воздействие рентгеновским излучением
2.5.3. Выводы к подразделу.
2.6. Разработка неразрушающей методики измерения параметров
структур .
2.7. Выводы к главе
ГЛАВА 3. КОНСТРУКТИВНЫЕ И ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ОСОБЕННОСТИ ПОСТРОЕНИЯ КООРДИНАТНЫХ ДЕТЕКТОРОВ НА ПОЛУИЗОЛИРУЮЩЕМ АРСЕНИДЕ ГАЛЛИЯ . .
3.1. Оптимизация конструкций детекторов на арсениде галлия, компенсиро
ванном хромом
3.1.1. Приборы на объемном материале .
3.1.2. Приборы на эпитаксиальном материале
3.2. Особенности создания детекторов на эпитаксиальном материале .
3.3. Влияние технологических факторов на поверхностные токи
утечки .
3.3.1. Экспериментальные данные. .
3.3.2. Обсуждение результатов эксперимента . . . .
3.4. Выводы к главе . . . . . . . .
ГЛАВА 4. РАЗРАБОТКА ДЕТЕКТОРНЫХ МОДУЛЕЙ ДЛЯ ЦИФРОВЫХ
РЕНТГЕНОВСКИХ АППАРАТОВ . . . . .
4.1. Арсенидогаллиевые детекторы для медицинских систем . .
4.1.1. Детекторы для флюорографии . . . . .
4.1.2. Детекторы для маммографии . . . . .
4.2. Разработка детекторного модуля на основе матричного кристалла.
4.3. Координатные детекторы для экспериментов в физике высоких
энергий . . . . . . . . .
4.3.1. Микростриповые детекторы на с контактами на основе модифицированных ионами слоев полупроводника . . .
4.3.2 Координатные детекторы для эксперимента по изучению
электронпозитронных взаимодействий . . . . .
4.4. Выводы к главе . . . . . . . .
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ