Ви є тут

Моделирование источников плазмы для современных технологий микроэлектроники

Автор: 
Арсенин Алексей Владимирович
Тип роботи: 
Дис. канд. физ.-мат. наук
Рік: 
2005
Артикул:
8458
179 грн
Додати в кошик