Введение
Глава I. Зондовые датчики для сканирующей зондовой микроскопии, спектроскопии и литографии Литературный обзор
1.1. Сканирующая зондовая микроскопия, зондовые датчики для СЗМ
1.2. Зондовые датчики для различных режимов сканирующей зондовой микроскопии и литографии.
1.2.1. Сканирующая туннельная микроскопия. Зонды для туннельных микроскопов
1.2.2. Атомносиловая микроскопия. Зонды для атомносиловой микроскопии
1.2.3. Ближнепольная оптическая и безапертурная терагерцовая ближнепольная микроскопия
1.2.4. Сканирующая микроскопия ионной проводимости. Зонды для СМИП.
1.2.5. Сканирующая зондовая литография.
1.3. Технология изготовления зондов
1.3.1. Изготовление металлических зондов методом электрохимического травления
1.3.2. Изготовления зондовкантилевсров методом фотолитографии.
1.3.3. Наномодификация зондов с помощью технологии фокусированных электронных и ионных пучков
1.3.4. Изготовление зондов для БОМ методом вытяжки из оптическою волокна.
1.3.5. Изготовление зондов для СМИП методом вытяжки пипеток из стеклянных
капилляров.
Выводы и постановка задачи
Глава . Экспериментальные установки и методы.
2.1. Технологическое оборудование и технологические методы.
2.1.1. Установка и технология электрохимического травления металлов
2.1.2. Установка и технология вытяжки микропипеток.
2.1.3. Технологическая установка на основе фокусированных электронных и ионных пучков для наномодификации зондов
2.1.4. Технология выращивания углеродных и металлоуглеродных наноструктур на вершинах зондов
2.1.5. Технология создания нановыступов на вершинах зондов.
2.1.6. Установка и технология магнетронного распыления материала.
2.2. Диагностическое оборудование и методы диагностики.
2.2.1. СЗМ с пьезорезонансным зондовым датчиком
2.2.1.1. Блок схема прибора
2.2.1.2. Конструкция СЗМ на основе пьезорезонансного датчика.
2.2.1.3. Конструкция зондового датчика на основе пьезокерамнческой трубки
2.2.1.4. Измерение резонансной кривой, кривой подвода и вольтамперной характеристики.
2.2.2. Экспериментальная установка для измерения токов ионной проводимости
2.2.3. Определение геометрических параметров зонда с помощью СЗМ.
2.2.4. Измерение геометрических параметров зондов с помощью СЭМ
Глава III. Технология изготовления и исследован не пьезорезонансных зондовых датчиков
3.1. Пьезорезонансный датчик силового взаимодействия.
3.1.1. Расчет резонансной частоты изгибных колебаний ПРЗД
3.1.2. Зависимость добротности и резонансной частоты ГРЗД от геометрических параметров и рабочей среды.
3.1.3. ПРЗД с улучшенной стабильностью.
3.1.4. ПРЗД для динамической силовой литографии на основе модифицированного зонда
3.1.4.1. Технология создания зонда с нановыступом на вершине.
3.1.4.2. Тестирование зонда с нановыступом на вершине в режиме динамической силовой литографии.
3.1.4.3. Опенка механической устойчивости зоила с наноострием в условиях продольного механического сжатия.
3.1.5. Зондовый датчик для наноидентирования.
3.1.6. Зондовый датчик с высокой добротностью
3.2. Датчик для измерения токов ионной проводимости
3.2.1. Конструкция.
3.2.2. Технология вытягивания
3.2.2.1. Вытяжка зондамикропипетки с гюмошыо лазерного разогрева
3.2.2.2. Вытяжка зондамикропипстки с помощью теплового разогрева
3.2.3. Работа зондового датчика с зондоммикропипеткой в режиме полуконтактной
силовой моды.
3.2.3.1. Оценка механической устойчивости зондамикропипетки под действием продольной силы сжатия.
3.2.3.2. Экспериментальной определение частоты и добротности зондового датчика с зондоммикропипеткой
3.2.3.3. Тестирование зондового датчика с зондоммикропипеткой в режиме полуконтактной силовой моды.
3.2.3.4. Тестирование зондового датчика с зондоммикропипеткой с нановыступом на торце в режиме полуконтактной силовой моды
3.2.4. Тестирование Г1РЗД в режиме СМИП.
3.2.4.1. Моделирование работы зондового датчика с зондоммикропинегкой в режим СМИП
3.2.4.2. Тестирование ПРЗД с зондоммикропипсткой в режиме СМИП
Заключение.
Список литературы
- Київ+380960830922