Ви є тут

Разработка перспективных методов литографии для получения рисунка на внутренней поверхности дефлектрона

Автор: 

Тупик Виктор Анатольевич

Тип роботи: 

Кандидатская

Рік: 

1998

Артикул:

1000200511

179 грн

Додати в кошик

• 
• 
• 

Рекомендовані дисертації

• Теоретические и экспериментальные исследования ионизационных преобразователей давления с целью расширения диапазона измерения и создания нового поколения высоковакуумных и сверхвысоковакуумных ионизационных преобразователей давления общего и специального
• Теоретические и прикладные вопросы создания бескорпусной вакуумной коммутационной аппаратуры и устройств вакуумной механики для многомодульного оборудования высоких технологий
• Теоретические и экспериментальные исследования ионизационных преобразователей давления с целью расширения диапазона измерения и создания нового поколения высоковакуумных и сверхвысоковакуумных ионизационных преобразователей давления общего и специального
• Моделирование и разработка широкоугольных электронно-оптических систем прецизионного электронно-лучевого оборудования
• Теоретические и экспериментальные исследования ионизационных преобразователей давления с целью расширения диапазона измерения и создания нового поколения высоковакуумных и сверхвысоковакуумных ионизационных преобразователей давления общего и специального
• Повышение надежности высоковакуумных механизмов на основе учета влияния обезгаживающего прогрева
• Разработка методики оценки допустимых уровней дефектности тонких металлических пленок
• Новые технохимические процессы и оборудование жидкостного химического снятия слоев полимеров в планарном микроэлектронном производстве
• Разработка и исследование элементной базы интегрированных вакуумных систем и создание на их основе оборудования высоких технологий производства изделий электронной техники
• Теоретические и экспериментальные исследования ионизационных преобразователей давления с целью расширения диапазона измерения и создания нового поколения высоковакуумных и сверхвысоковакуумных ионизационных преобразователей давления общего и специального