СОДЕРЖАНИЕ
ВВЕДЕНИЕ
ГЛАВА 1. АНАЛИЗ СОВРЕМЕННОГО СОСТОЯНИЯ ОБЛАСТИ ИССЛЕДОВАНИЯ
1.1 Методы осаждения покрытий в вакууме.
1.2 Методы контроля толщины тонких пленок в вакууме
1.2.1 Весовой метод
1.2.2 Метод кварцевого резонатора
1.2.3 Фотометрический метод
1.2.4 Резистивный метод
1.2.5 Емкостные методы.
1.2.6 Вибрационный метод.
1.3 Выводы по первой главе и постановка задач исследований.
ГЛАВА 2. РАЗРАБОТКА И ИССЛЕДОВАНИЕ ЕМКОСТНОГО ДАТЧИКА ТОЛЩИНЫ ПОКРЫТРШ, НАНОСИМЫХ В ВАКУУМЕ
2.1 Емкостный метод контроля толщины покрытий, наносимых в вакууме
2.2 Разработка емкостного датчика
2.2.1 Конструкция емкостного датчика.
2.2.2 Математическая модель емкостного датчика.
2.2.3 Чувствительность емкостного датчика
2.2.4 Погрешность емкостного датчика.
2.2.5 Измерительные схемы для емкостного датчика.
2.3 Выводы по второй главе.
ГЛАВА 3. РАЗРАБОТКА И ИССЛЕДОВАНИЕ АВТОМАТИЗИРОВАННОЙ СИСТЕМЫ КОНТРОЛЯ ТОЛЩИНЫ ПОКРЫТИЙ, НАНОСИМЫХ В ВАКУУМЕ
3.1 Классификация автоматизированных систем
3.2 Разработка аппаратного обеспечения АС
3.2.1 Анализ возможных путей реализации устройства сопряжения
3.2.2 Связь УС с персональным компьютером.
3.2.3 Управление заслонкой и коммутация сигналов
3.3 Разработка программного обеспечения АС
3.4 Выводы по третьей главе.
ГЛАВА 4. ТЕХНИЧЕСКАЯ РЕАЛИЗАЦИЯ И ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ХАРАКТЕРИСТИК ЕМКОСТНОГО ДАТЧИКА ТОЛЩИНЫ ПОКРЫТИЙ, НАНОСИМЫХ В ВАКУУМЕ.
4.1 Опытный образец емкостного датчика толщины покрытий и устройства сопряжения
4.2 Оборудование и техника экспериментов
4.2.1 Разработка устройства ввода данных от измерительного оборудования в ПК
4.2.2 Разработка программного обеспечения для устройства ввода данных от измерительного оборудования в ПК
4.3 Результаты экспериментального исследования датчика
4.4 Выводы по четвертой главе
ЗАКЛЮЧЕНИЕ.
СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАННЫХ ИСТОЧНИКОВ
- Київ+380960830922