Кристаллизация из газовой фазы пленок алмаза и алмазоподобных нитридов

СОДЕРЖАНИЕ
СПИСОК ПРИНЯТЫХ СОКРАЩЕНИЙ И УСЛОВНЫХ ОБОЗНАЧЕНИЙ 5 ВВЕДЕНИЕ
Глава 1. АНАЛИТИЧЕСКИЙ ОБЗОР
1.1. Возникновение и развитие газофазного синтеза алмаза путем термического разложения простых газообразных углеродсодержащих соединений
1.2. Химической транспортная реакция
1.3. Некоторые закономерности синтеза, состав и свойства алмазных пленок, полученных методом нагретой нити
1.3.1. Конверсия газовой фазы
1.3.2. Зависимость частоты зарождения и скорости роста алмазных пленок от температуры подложки
1.3.3. Роль геометрии системы активатор подложка
1.3.4. Примеси металлов в алмазных пленках
1.3.5. Примесь водорода в алмазных пленках
1.3.6. Содержание неалмазного углерода в алмазных пленках по данным спектроскопии комбинационного рассеяния
1.4. Способы получения пленок 1 и
1.4.1. Общие сведения
1.4.2. Подложки для осаждения пленок I и
1.4.3. Химические методы получения пленок 1 и
1.4.4. Физические методы получения пленок 1
1.5. Легирование пленок 1
1.6. Термодинамика реакций с участием нитрида алюминия
1.7. Легирование пленок
1.7.1. Неконтролируемое легирование
1.7.2. Контролируемое легирование
стр.
1.7.3. Глубокие и мелкие примесные уровни в
1.8. Переходы между разнородными твердыми фазами
Глава 2. СИНТЕЗ АЛМАЗА ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ
2.1. Основные требования к экспериментальному реактору
2.2. Конструкция реактора для синтеза алмазных пленок
2.3. Синтез алмазных пленок
2.4. Особенности распределения тепла в реакторе для синтеза алмазных пленок
2.5. Оценка состава активированной газовой фазы в реакторе для
наращивания алмазных плнок по методу нагретой нити
2.6. Температурная зависимость скорости роста алмазной пленки
2.7. Основные гетерогенные реакции при росте алмаза из газовой
Глава 3. СИНТЕЗ АЛМАЗОПОДОБНЫХ НИТРИДОВ ИЗ ГАЗОВОЙ
3.1. Описание установки для получения плнок 1 и
3.2. Порядок проведения опытов по осаждению 1 и
3.3. Исследование кинетики осаждения плнок нитридов галлия и алюминия
Глава 4. РЕЗУЛЬТАТЫ ИССЛЕДОВАНИЯ ЗАВИСИМОСТИ
СВОЙСТВ И СТРОЕНИЯ ПЛЕНОК АЛМАЗА И АЛМАЗОПОДОБНЫХ НИТРИДОВ АЛЮМИНИЯ И ГАЛЛИЯ ОТ УСЛОВИЙ ПРОЦЕССА СИНТЕЗА. ПРИМЕНЕНИЕ СЛОИСТЫХ СТРУКТУР НА ОСНОВЕ АЛМАЗА И НИТРИДОВ ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЭЛЕМЕНТОВ УСТРОЙСТВ РАЗЛИЧНОГО НАЗНАЧЕНИЯ
4.1. Строение и состав поликристаллических алмазных пленок
4.2. Содержание примесного водорода в алмазных пленках по данным ИКспектроскопии
4.3. Содержание неалмазного углерода в алмазных пленках по данным спектроскопии комбинированного рассеяния
4.4. Исследование легированных бором алмазных пленок в процессе
их роста из газовой фазы на монокристаллах алмаза
4.5. Исследование структуры, морфологии и состава полученных плнок нитридов алюминия и галлия
4.6. Спектры комбинационного рассеяния 1 и
4.7. Изучение электрофизических свойств пленок нитридов
4.7.1. Температурные зависимости статической и динамической проводимости и емкости пленок 1 на i
4.7.2. Электрические свойства пленок
4.8. Исследование катодолюминесценции пленок твердых растворов нитрида алюминия и галлия
4.9. Гетероструктура нитрид алюминия алмаз
4 Эмиссионные свойства многослойных структур iалмаз и iал маз
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
ВЫВОДЫ
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ