Введение.
Г лава I. Проблемные аспекты интерпретации решений основного уравнения эллипсометрии Друдэ литературный обзор
1.1. Краткая история развития метода
1.2. Развитие поляризационнооптической приборной базы
1.3. Классические предпосылки теории эллипсометрии
1.4. Основное уравнение эллипсометрии.
1.4.1. Постановка и аналитическая разрешимость прямых модельных задач эллипсометрии.
1.4.2. Постановка и проблемные аспекты решения обратных задач прикладной эллипсометрии
1.4.3. Роль многоугловых измерений амплитуднофазовых параметров состояния поляризации поля световой волны при решении обратных задач прикладной эллипсометрии.
1.5. Выводы.
Глава II. Методы решения эллинсометрнческих проблем на основе анализа результатов компьютерного моделирования решений е простейших задач в самосогласованной постановке.
2.1. Типовые свойства решений ОУЭ в угловых развертках.
2.1.1. Модель идеальной границы.
Инварианты ФренеляБрюстера
2.1.2. Оптическая модель эффективного однородного слоя
2.1.3. Связь решений прямой задачи для однородного слоя с решениями для его идеальных границ
2.2. Аналитические предпосылки для псевдо инвариантов Френеля Брюстера
2.2.1. Трансформация инвариантов ФренеляБрюсгера для модели однородного слоя
2.2.2. Применение инвариантов ФренеляБрюстера для исследования невидимых объектов с диффузными отражающими границами на примере нитрида бора.
2.3. Новые эмпирические направления развития нетрадиционной эллипсометрии
2.3.1. Физическая природа экстинкции.
2.3.2. Аномальное отражение.
2.3.2.1. Метрологический статус сигналов ФЭУ
2.3.2.2. Обнаружение аномального отражения в оптическом диапазоне длин волн электромагнитного излучения
2.3.2.3. Связь шероховатости с интенсивностью спектров аномального отражения
2.3.2.4. Аппроксимация степени шероховатости но максимуму в спектре угловых разврток сигналов аномального отражении.
2.3.3. Эллипсометрии нарушенного полного внутреннего отражения НПВО.
2.3.4. Кинетическая эллипсометрия медикобиологических и динамически необратимых процессов
2.3.4.1. НПВО эллипсометрия для исследования свойств воды но азимутальным девиациям
2.3.4.2. Релаксационная иФЭу эллипсометрия
2.3.5. Спеклэллипсометрия отраженных световых пучков.
2.4. Выводы.
Глава 1. Экспериментальные исследования.
3.1. Схема и конструктивные рекомендации по модификации приборов ручного управления типа прецизионного ЛЭФЗ.М.1.
3.1.1. Модификация блока регистрации спеклкартин
3.1.2. Автокалибровка эллипсометрических измерений по методу многоуглового сканирования.
3.1.3. Преимущества конструирования эллипсометров ромбоидного типа для спектроскопии нарушенного ПВО
3.2. Прямые измерения и алгоритмы калибровки.
3.2.1. Алгоритм монотонного сглаживания разброса азимутов поляризаторов по данным многоугловых измерений
3.2.2. Калибровка азимута компенсатора
3.2.3. Определение котировочной константы поляризаторов
3.3. Косвенная измерительная информация обратных задач эллипсометрии л
3.3.1. Оценка оптических контант кристаллов ниобага лития методом интерполяции углов Брюстера на кристаллографичских срезах по данным многоугловых измерений.
3.3.2. Оценка оптических констант сткол марки НС.
3.3.3. Измерения оптических констант фотокерамики.
3.3.4. Исследование гистерезиного механизма памяти воды при наноструктурных перестройках в слоях сил поверхностного натяжения.
3.3.5. Эллипсометрический контроль ВИЧкинетики.
3.3.6. Выводы.
Заключение и общие выводы
Приложение.
Введение
Прикладная эллипсометрия поляризационнооптический раздел технической физики, изучающий эллиптическое состояние поляризации электромагнитных волн после взаимодействия их на границах раздела сред с исследуемыми материалами при описыании его амплитуднофазовыми параметрами 0, X и А 0, X для произвольных углов падения 0 и длин волн X. Соответствующую спектроэллипсометрию подразделяют на угловую и дисперсионную или углового и частотного сканирования.
Актуальность
- Київ+380960830922