Планарные позиционно-чувствительные измерительные преобразователи лазерного излучения

ОГЛАВЛЕНИЕ
ВВЕДЕНИЕ
ГЛАВА 1. ТЕПЛОВЫЕ ПОЗИЦИОННОЧУВСТВИТЕЛЬНЫЕ ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЕ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ ЛАЗЕРНОГО ИЗЛУЧЕНИЯ И ВОЗМОЖНОСТИ ИХ СОВЕРШЕНСТВОВАНИЯ.
1.1. Классификация тепловых позиционночувствительных измерительных преобразователей лазерного излучения .
1.2. Основные параметры тепловых ПЧИП
1.3. Основная относительная погрешность амплитудных ПЧИП
1.4. Многоэлементные тепловые ПЧИП.
1.5. Дифференциальные тепловые ПЧИП
1.6. Интегрирование преобразовательного элемента дифференциального термоэлектрического ПЧИП на полупроводниковом монокристалле.
1.7. Выводы по первой главе
ГЛАВА 2. МЕТОДЫ РАСЧЕТА ТЕМПЕРАТУРНОГО ПОЛЯ
ПОДЛОЖКИ. ПРИНЦИП ДЕЙСТВИЯ ПЛАНАРНОГО ПЧИП.
2.1. Общие вопросы математического моделирования планарного ПЧИП.
2.2. Постановка краевой задачи теплопроводности
2.3. Коэффициент теплоотдачи с поверхности подложки
2.4. Температурная зависимость теплопроводности кремния
2.5. Решение краевой задачи теплопроводности методом рядов Фурье.
2.6. Учет теплового сопротивления клеевых соединений
2.7. Решение краевой задачи теплопроводности в случае облучения планарного ПЧИП несфокусированным
лазерным пучком.
2.8. Анализ упрощенной модели планарного ПЧИП.
2.9. Выводы но второй главе.
ГЛАВА 3. ОПТИМИЗАЦИЯ ПЛАНАРНОГО ПЧИП. КОНСТРУК
ЦИЯ И ТЕХНОЛОГИЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПЛАНАРНОГО ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬНОГО ЭЛЕМЕНТА
3.1. Расчет сигналов термобатарей планарного ПЧИП
3.2. Оптимизация способа изоляции термобатарей планарного ПЧИП
3.3. Оптимизация технологии изготовления планарного преобразовательного элемента.
3.4. Оптимизация геометрических параметров планарного
преобразовательного элемента
3.5. Оптимизация степени легирования кремния и плотности
упаковки термопар.
3.6. Выводы по третьей главе.
ГЛАВА 4. МАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ХАРАКТЕРИСТИК ПЛАНАРНЫХ ПЧИП.
4.1. Основные параметры и характеристики ПЧИП, рассматриваемые в ходе математического моделирования.
4.2. Общие вопросы расчетных исследований характеристик
планарных ПЧИП.
4.3. Характеристики планарных ПЧИП при идеальном тепловом контакте подложки с термостатом и
4 идентичных термобатареях I
4.3.1. Характеристики и параметры планарных ПЧИП с коллектором энергии x мм2 и x мм2.
4.3.2. Характеристики и параметры планарного ПЧИП с коллектором энергии x мм2.
4.3.3. Характеристики и параметры планарного ПЧИП с
дисковым коллектором энергии диаметром мм
4.4. Нормированная позиционная, зонная и приведенная позиционная характеристики планарных ПЧИП с учетом теплового сопротивления клеевых прослоек между подложкой и термостатом
4.5. Выводы по четвертой главе.
ГЛАВА 5. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ ИССЛЕДОВАНИЯ ПЛАНАРНЫХ ПЧИП. ПЕРСПЕКТИВЫ СОЗДАНИЯ НА ИХ БАЗЕ МНОГОФУНКЦИОНАЛЬНЫХ РАБОЧИХ СРЕДСТВ ИЗМЕРЕНИЙ.
5.1. Общие вопросы экспериментального определения основных характеристик и параметров планарных ПЧИП
5.2. Метрологическое обеспечение экспериментальных исследований основных характеристик планарных ПЧИП .
5.2.1. Система стабилизации мощности излучения лазера, генерирующего на длине волны 0, мкм
5.2.2. Система стабилизации мощности излучения лазера, генерирующего на длине волны ,6 мкм.
5.2.3. Методы и схемы измерений параметров планарных ПЧИП.
5.3. Результаты экспериментальных исследований характеристик планарных ПЧИП
5.3.1. Измерение параметров и характеристик планарных
ПЧИП методом замещения.
5.3.2. Характеристики планарных ПЧИП с коллекторами
энергии x мм2 и х мм2.
5.4. Многофункциональные рабочие средства измерений пространственноэнергетических характеристик непрерывного лазерного излучения на базе планарных ПЧИП .
5.4.1. Методы измерений основных пространственноэнергетических характеристик лазерного излучения .
5.4.2. Средства измерений пространственноэнергетических характеристик лазерного излучения
5.4.3. Метрологическое обеспечение измерений пространственноэнергетических характеристик лазерного излучения
5.4.4. Рабочие средства измерений пространственноэнергетических характеристик лазерного излучения на
базе планарных ПЧИП.
5.4.5. Специализированные рабочие средства измерений лазерного излучения на базе планарных ПЧИП
5.5. Выводы по пятой главе.
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
БИБЛИОГРАФИЧЕСКИЙ СПИСОК.
ВВЕДЕНИЕ
Актуальность