ОГЛАВЛЕНИЕ
Введение
Глава 1. Термочувствительные материалы и конструктивные особенности элементов неохлаждаемых микроболометрических матриц.
1.1. Основные характеристики и требования к термочувствительному слою микроболометра
1.2. Пленки окислов ванадия.
1.3. Пленки аморфного и поликристаллического кремния, германия и их соединений.
1.4. Пленки полупроводникового аморфного УВаСиО
1.5. Пленки манганитов
1.6. Пленки титана
1.7. Выводы
Глава 2. Сравнительные исследования сэндвичных и плоскостных микроболометрических структур
2.1. Сэндвичные структуры на основе пленок аБгН
2.2. Плоскостные структуры на основе УОх пленок
2.3. Оптические характеристики структур
2.4. Выводы
Глава 3. Особенности использования пленок УОж в качестве термочувствительного слоя болометра.
3.1. Работа УОх болометра в интервале температур, включающем фазовый переход
3.1.1. Устройство болометра
3.1.2. Зависимость чувствительности от температуры
3.1.3. Исследование шума
3.2. Зависимость болометрических свойств УОх пленок от состава и структуры
3.3. Выводы
Глава 4. Разработка микроболометрической линейки
4.1. Расчетное моделирование основных характеристик микроболометрической линейки
4.1.1 Расчет теплофизических параметров
4.1.2 Моделирование условий достижения максимальной вольтовой чувствительности и обнаружительной способности
4.1.3 Моделирование условий получения минимальной ИЕТО прибора, использующего МБЛ
4.1.4. Выводы
4.2. Топология, структура и технология изготовления МБЛ
4.3. Исследование характеристик микроболометров
4.4. Возможные пути улучшения характеристик микроболометров
4.5. Исследование временной стабильности характеристик микроболометров
4.6. Влияние давления окружающего воздуха на вольтовую чувствительность микроболометра
4.7. Результаты Заключение
Список публикаций автора
Литература
- Київ+380960830922