Содержание
Введение
Глава 1. Обзор существующих методов и средств измерений низкого абсолютного давления высшей точности и выбор направления работы
1.1 Методы и средства измерений абсолютного давления высшей
точности. Классификация и принципы действия
1.2 Мембранноемкостный метод измерений давления
1.3 Абсолютные методы измерения давления
1.4 Жидкостные манометры
1.4.1 иобразные двухтрубные манометры
1.4.2 Компрессионные манометры
1.5 Термодинамический метод воспроизведения абсолютного
давления
1.5.1 Термодинамический метод воспроизведения абсолютного давления на основе фиксированных точек фазовых переходов чистых веществ
1.5.2 Термодинамический метод воспроизведения абсолютного давления на основе непрерывных участков РТ кривой фазового перехода 1го рода чистых веществ
1.6 Воспроизведение шкалы давлений в области высокого и
сверхвысокого вакуума
1.7 Выбор направления работы
1.8 Заключение к главе 1
Глава 2. Теоретические основы построения лазерного интерференционного жидкостного иобразного манометра
2.1 Лазерные интерферометры перемещений
2.2 Методы обработки интерференционного сигнала
2.3 Лазерные интерферометры в жидкостных манометрах
2.4 Выбор рабочей жидкости иобразного манометра
2.5 Теоретический анализ и оценка источников погрешности
ИЖМ и поправок к уравнению измерений
2.6 Заключение к главе 2
Глава 3. Разработка конструкции лазерного интерференционного
жидкостного иобразного манометра
3.1 Измерительная ячейка макета ИЖМ
3.1.1 Оптическая схема лазерного интерферометра
3.1.2 Способ формирования квадратурного сигнала
3.2 Устройство сопряжения ИЖМ с ПЭВМ
3.3 Разработка виброзащитного устройства 1го варианта
макета ИЖМ
3.4 Результаты сличений 1го варианта ИЖМ с
мембранноемкостным вакуумметром
3.5 Разработка 2го варианта макета ИЖМ
3.5.1 Измерительная ячейка 2го варианта макета ИЖМ
3.5.2 Способ формирования квадратурного сигнала
3.6 Результаты сличений 2го варианта ИЖМ с
мембранноемкостным вакуумметром
3.7 Поплавковые устройства в лазерных интерференционных
жидкостных манометрах
3.8 Измерительная ячейка 3го варианта макета ИЖМ
3.9 Результаты сличений 3го варианта ИЖМ
с мембранноемкостным вакуумметром
3. Заключение к главе 3 Глава 4. Исследование влияния молекулярных свойств масла на
погрешность измерений давления ИЖМ
4.1 Измерение коэффициента поверхностного натяжения масла
4.2 Теоретическое исследование формы мениска
4.3 Экспериментальное определение кривизны свободной поверхности масла в манометре
4.4 Эксперименты, предлагаемые с целью исследований зависимости плотности масла от количества растворенного в нем воздуха и его сжимаемости
4.5 Заключение к главе
Глава 5. Результаты метрологических исследований макета ИЖМ
5.1. Уравнение измерений ИЖМ
5.2. Расчет погрешности измерений давления макетом ИЖМ
5.3. Сравнение метрологических характеристик ИЖМ с зарубежными аналогами и ГЭТ
5.4. Заключение к главе
Заключение
Список литературы
- Київ+380960830922