Разработка и исследование рефлектометрического метода измерения шероховатости сверхгладких металлических поверхностей

СОДЕРЖАНИЕ
Введете.
Глава I. Анализ состояния измерения шероховатости сверхгладких поверхностей рефлектометрипеским методом.
1.1. Основные положения теории рассеяния электромагнитного излучения на статистически неровных поверхностях
1.2. Анализ статистических свойств сверхгладких поверхностей.
1.3. Рефлектометрические сДрсбйы измерения шероховатости сверхгладких пойбрхностей.
Глава П. Теоретическое обосноваМвразрабатшаешх рефлектоме трических способов измерения параметров шероховатости сверхгладких поверхностей 3
2.1. Исследование решений, полученных скалярной и векторной теорией, для углового распределения рассеянного излучения
2.2. Оцределение спектральной плотности и функции корреляции сверхгладких поверхностей рефлектометрическим методом
2.3. Способ измерения параметров 6 и Т с использованием элементов индикатрисы рассеяния.
2.4. Способ измерения 6 и Г с использованием зависимости потока рассеянного излучения от
длины волны
2.5. Теоретическое исследование чувствительности разрабатываемых рефлектометрических способов п. измерения Т
Глава Ш. Исследование методических погрешностей рефлектометрических способов.
3.1. Общие вопросы определения погрешности рефлектометрических способов измерения шероховатости
3.2. Погрешности, возникающие за счет использования приближенных зависимостей
Стр.
3.3. Погрешности, вызванные отличием свойств реальной поверхности от выбранной модели ЮЗ
3.4. Погрешности, связанные со схемой реализации метода.
5.2. Разработка схем рефлектометров, предназначенных для реализации способа измерения параметров
и Т с использованием элементов индикатрисы рассеяния
5.3. Реализация способа измерения параметров 6 и Т с использованием зависимости потока рассеянного излучения от длины волны.
Глава У. Экспериментальные исследования шероховатости
образцов полированных металлических поверхностей 1у
4.1. Описание гониорефлектометрической установки
4.2. Исследование инструментальных погрешностей гониорефлектометрической установки.
4.3. Исследование шероховатости полированных металлических поверхностей по индикатрисам рассея
Глава У. Опробование разработанных рефлектометрических
способов измерения параметров шероховатости 6 и Т
5.1. Сличение результатов измерения параметров шероховатости различными рефлектометрическими способами и щуповым методом.
Заключение.
Литература