Введение.
1. ИНФОРМАЦИОННЫЙ ОБЗОР И АНАЛИЗ ПРОБЛЕМЫ ОПРЕДЕЛЕНИЯ МЕХАНИЧЕСКИХ НАПРЯЖЕНИЙ И ДЕФОРМАЦИЙ ТЕНЗОЧУВСТВИТЕЛЬНЫМИ ЭЛЕМЕНТАМИ
1.1 Общая характеристика проблемы определения механических напряжений и деформаций.
1.2 Краткий анализ тензорезисторных средств контроля, применяемых для определения механических напряжений
и деформаций.
1.3 Постановка задачи исследования влияния деформации на параметры полупроводниковых структур и пути ее решения.
1.4 Вы воды
2. ИССЛЕДОВАНИЕ И АНАЛИЗ ВЛИЯНИЯ ДЕФОРМАЦИИ НА ОСНОВНЫЕ ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ ПОЛУПРОВОДНИКОВ О ТЕНЗОЧУВСТВИТЕЛЫ юго ЭЛЕМЕНТА НА ОСЬЮВЕ МДПСТРУКТУРЫ.
2.1 Влияние деформации на изменение концентрации
носителей заряда.
2.2 Формирование области пространственного заряда
2.3 Деформационная зависимость подвижности носителей
заряда с учетом полевого эффекта.
2.4 Выводы.
3. МАТЕМАТИЧЕСКАЯ МОДЕЛЬ ФИЗИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ, ПРОИСХОДЯЩИХ В ТЕНЗОЧУВСТВИТЕЛЬНОМ ЭЛЕМЕНТЕ НА ОСНОВЕ МДПСТРУКТУРЫ ПРИ ОДНООСНОЙ УПРУГОЙ ДЕФОРМАЦИИ.
3.1 Разработка математической модели.
3.2 Влияние электрофизических параметров на выходной сигнал тензочувствительного элемента
3.3 Влияние топологических и электрических параметров
на выходной сигнал тензочувствительного элемента.
3.4 Методика разработки тензочувствительных элементов
с заданными метрологическими характеристиками
3.5 Выводы.
4. РАЗРАБОТКА КОНСТРУКЦИЙ ИНТЕГРАЛЬНЫХ ТЕНЗОПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕЙ И МИКРОПРОЦЕССОРНОЙ СИСТЕМЫ НЕРАЗРУШАЮЩЕГО КОНТРОЛЯ НАПРЯЖЕННОДЕФОРМИРОВАННОГО СОСТОЯНИЯ МАТЕРИАЛОВ
4.1 Основные технологические этапы изготовления
тензочувствительного элемента
4.2 Влияние технологических операций на метрологические характеристики тензочувствительного элемента.
4.3 Метрологический анализ разработанного тензочувствительного элемента.
4.4 Разработка конструкций интеральных
тензопреобразователей.
4.5 Структурная схема и принцип работы микропроцессорной системы иеразрушающего контроля напряженнодеформированного состояния материалов. Ю
4.6 Выводы
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
СПИСОК ИСПОЛЬЗУЕМОЙ ЛИТЕРАТУРЫ
- Київ+380960830922