СОДЕРЖАНИЕ
ВВЕДЕНИЕ.
ГЛАВА I. Проблемы контроля надежности и контроля фотоприемников на основе кремния
1.1. Фотоприемники видимого, ИК и УФ спектра
1.2. Вопросы надежности, испытаний на надежность в нормальном и форсированном режимах, основные виды дефектов, выявляемых
при испытаниях
1.3 Анализ отказов полупроводниковых приборов и ИМС.
ГЛАВА II. Разработка экспрессметодов контроля и повышения надежности многосегментных РПЧфотодиодов с охранным кольцом
2.1. Элементы технологии и конструкции
2.2. Разработка методов диагностики путем проведения испытаний на безотказность в номинальном и форсированном режимах
2.3. Разработка методов диагностики многосегментных Р11фотодиодов с охранным кольцом по интегральным и дифференциальным вольтамперным характеристикам .
2.3.1. Анализ ВАХ идеальных ФД.
2.3.2. Диагностика неидеальных ФД по интегральным и дифференциальным параметрам ВАХ ,, ,.
2.3.2.1. Экспериментальные результаты
2.3.2.2. Обсуждение экспериментальных результатов
2.3.3. Радиационнотермические способы повышения надежности Р1Ифотодиодов с охранным кольцом .
ГЛАВА III. Исследование фотоэлектрических дефектов и неоднородности рп и РПЧфотодиодных структур с помощью сканирующего лазерного зонда
3.1. Установка и методика контроля крупномасштабных неоднородностей фотодиодных структур с помощью лазерного СКАНИРУЮЩЕГО ЗОНДА
3.2. УСТАНОВКА И МЕТОДИКА КОНТЮЛЯ МИКРОНЕОДНОРОДНОСТЕЙ ФОТОДИОДНЫХ СТРУКТУР С ПОМОЩЬЮ ЛАЗЕРНОГО ЗОНДА
3.2.1. Назначение и область применения установки.
3.2.2. Технические данные
3.2.3. Состав контрольноизмерительной системы.
3.2.4. Методика оценки однородности и локальных дефектов
3.2.5. Фототок в рппереходе, освещаемом параллельно плоскости перехода слабо поглощаемым светом
3.3. Результаты исследований дефектов и однородности р1М и РПЧ
фотодиодных структур.
ГЛАВА IV. Рентгеновские топографические и дифрактометрнческие исследования дефектов структу ры РПЧфотодйодов типа ФДК6 и ФУЛ3 с охранным кольцом .
Выводы.
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
ЛИТЕРАТУРА
- Київ+380960830922