ОГЛАВЛЕНИЕ.
ВВЕДЕНИЕ
Глава 1. Методики анализа спектров многозарядных ионов.
1.1. Источники возбуждения спектров.
1.2. Спектральная аппаратура высокого разрешения.
1.3. Обработка спектрограмм.
1.4. Теоретические расчеты спектров многозарядных ионов.
1.5. Классификация спектральных линий и критерии
корректности анализа спектров.
Глава 2. Спектры многозарядных палладиеподобных ионов.
2.1. Структура уровней Рподобных ионов.
2.2. Исследование резонансных переходов в спектрах
Рподобных ионов.
2.3. Анализ переходов между возбужденными конфигурациями
в спектрах Рподобных ионов.
2.3.1. Исследование высоковозбужденных конфигураций
в спектрах ЭЬ VIIVIII.
2.3.2. Анализ спектров Хе IX и Сб X.
2.3.3. Анализ спектров Ва XI, Ьа XII и Се XIII.
2.3.4. Анализ спектров Рг XIV и 6 XV.
2.4. Обобщение спектроскопических данных для изоэлектронной
последовательности Р I.
Глава 3. Спектры ионов изоэлектронных последовательностей I и С I.
3.1. Проблемы селекции линий в спектрах многозарядных ионов.
3.2. Анализ спектров пдбныx ионов от БЬ V до Ш XIV.
3.3. Анализ спектров многозарядных Сподобных ионов.
3.3.1. Спектр Хе VII.
3.3.2. Спектр Ва IX.
3.3.3. Спектр ЬаХ.
3.3.4. Спектр Се XI.
3.3.5. Спектры Рг XII и 1XIII.
Глава 4. Спектры 41 ионов ксенона в дальней ВУФ области.
4.1. Изученность спектров ионов с заполняющейся 4с1 оболочкой.
4.2. Специфические особенности конфигураций и 4р1т1.
4.3. Спектры ионов ксенона в дальней ВУФ области.
4.4. Анализ Хе X и изоэлектронных спектров IIX Ва XII.
4.5. Анализ спектра Хе XI и изоэлектронного спектра IX.
Глава 5. Спектры 4с1 ионов олова и индия в дальней ВУФ области.
5.1. Общая характеристика спектров ионов олова и индия
в области 00 А.
5.2. Анализ конфигураций 4с4Г и 4р8 в спектрах
1пУи8пУШ.
5.3. Анализ спектров 1п ХПХШ и Бп Х1Х1У.
5.4. Классификация переходов в сложных спектрах
1пУШХ1и8п1ХХИ.
5.5. Диагностика плазмы искрового источника для ВУФ
литографии.
5.5.1. Измерение электронной температуры штазмы.
5.5.2. Определение электронной плотности плазмы.
5.5.3. Оценки оптической толщины излучающей плазмы.
ЗАКЛЮЧЕНИЕ.
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ
- Київ+380960830922