Цифровая обработка рентгенотопографических и поляризационно-оптических изображений дефектов структуры монокристаллов

ВВЕДЕНИЕ
ГЛАВА 1 НЕРАЗРУШАЮЩИЕ МЕТОДЫ РЕГИСТРАЦИИ ДЕФЕКТОВ СТРУКТУРЫ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ ПОЛУПРОВОДНИКОВ
1.1 Основные топографические методы и методики исследования дефектов структуры монокристаллов
1.2 Поляризационнооптический метод исследования дефектов структуры монокристаллов
1.3 Актуальные проблемы анализа изображений дефектов структуры монокристаллов
1.4 Выводы и постановка задач диссертационного исследования
ГЛАВА 2 МЕТОДИКА И ПРОГРАММНОАППАРАТНОЕ ОБЕСПЕЧЕНИЕ ЦИФРОВОЙ ОБРАБОТКИ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОГО КОНТРАСТА ДЕФЕКТОВ СТРУКТУРЫ МОНОКРИСТАЛЛОВ
2.1 Аппаратная организация цифровой обработки рентгенотопографических и поляризационнооптических изображений.
2.2 Программное обеспечение цифровой обработки топографических и поляризационнооптических изображений.
2.3 Выбор и обоснование методов цифровой обработки изображений
2.3.1 Линейная фильтрация
2.3.2 Нелинейная фильтрация
2.4 Особенности экспериментального контраста слабый контраст, фоновая неоднородность, зернистость фотоэмульсии
2.5 Выводы.
ГЛАВА 3 МЕТОДЫ И ПРОГРАММЫ ЦИФРОВОЙ ОБРАБОТКИ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫХ ИЗОБРАЖЕНИЙ С ВЫСОКОЙ ФОНОВОЙ НЕОДНОРОДНОСТЬЮ
3.1 Метод устранения слабого контраста.
3.2 Методы устранения неравномерного фона
3.2.1 Метод, основанный на оценке среднего значения фона в различных областях изображения и вычитании его из исходного изображения
3.2.2 Метод, основанный на прямом изменении амплитудного спектра изображения.
3.2.3 Методы, основанные на высокочастотной фильтрации с предварительным логарифмированием и экспоненцированием изображения
3.2.4 Метод, основанный на высокочастотной фильтрации с предварительной
обработкой изображения нелинейным фильтром
3.3 Выводы
ГЛАВА 4 МЕТОДЫ И ПРОГРАММЫ УСТРАНЕНИЯ ВЛИЯНИЯ ЗЕРНИСТОСТИ ФОТОЭМУЛЬСИИ НА КАЧЕСТВО ИЗОБРАЖЕНИЙ ДЕФЕКТОВ
4.1 Методы на основе прямого изменения амплитудного спектра изображения и линейной фильтрации.
4.2 Метод на основе фильтра усреднения зерна с порогом
4.3 Метод на основе фильтра с рекурсивным накоплением.
4.4 Методы представления изображения в виде, удобном для визуального анализа и измерения на изображениях.
4.5 Выводы
ГЛАВА 5 ПРИМЕНЕНИЕ ЦИФРОВОЙ ОБРАБОТКИ ДЛЯ РАСШИФРОВКИ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОГО КОНТРАСТА И ИДЕНТИФИКАЦИИ ДЕФЕКТОВ СТРУКТУРЫ РАЗЛИЧНОГО ТИПА В МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ МАТЕРИАЛАХ
5.1 Исследуемые образцы, их подготовка для топографических и поляризационнооптических исследований, методика цифровой обработки
5.2 Цифровая обработка экспериментального контраста, содержащего
изображения винтовых и краевых дислокаций.
5.2.1 Экспериментальный и теоретический контраст от винтовых дислокаций
5.2.2 Экспериментальный и теоретический контрасты от краевых дислокаций
5.3 Сопоставление информативности и эффективности цифровой обработки экспериментального контраста, полученного топографическими методами АПРЛ и Ланга
5.4 Применение метода АПРЛ для исследования микродефектов.
5.4.1 Теоретический расчет контраста от микродефектов.
5.4.2 Цифровая обработка экспериментального контраста, содержащего изображения микродефектов.
5.5 Выводы
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАННОЙ ЛИТЕРАТУРЫ