СОДЕРЖАНИЕ
ВВЕДЕНИЕ
Глава 1. ФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА МЕТАЛЛООКСИДНЫХ
ПОЛУПРОВОДНИКОВ, ГЕТЕРОСТРУКТУР НА ИХ ОСНОВЕ И ИХ ПРИМЕНЕНИЕ В ГАЗОВОЙ СЕНСОРИКЕ
1.1. Основные свойства и параметры гетероструктур
1.2. Методы изготовления гетсроструктур
1.2.1. Метод химического осаждения из растворов
1.2.2. Метод магнетронного распыления
1.2.3. Метод пиролиза аэрозолей
1.2.4. Метод термического испарения в вакууме
1.3. Методы исследования электрических параметров гетероструктур i
1.3.1. Вольтамперные характеристики
гетероструктур i
1.3.2. Емкостные свойства гетероструктур
1.4. Механизм газовой чувствительности систем
с гетеропереходом
Выводы к первой главе
Глава 2. МЕТОДЫ ИССЛЕДОВАНИЯ ФИЗИЧЕСКИХ СВОЙСТВ ПЛЕНОК ДИОКСИДА ОЛОВА И АНИЗОТИПНЫХ ГЕТЕРОСТРУКТУР НА ОСНОВЕ ПЛЕНОК ДИОКСИДА ОЛОВА
2.1. Изготовление образцов
2.2. Исследование элементного состава и морфологии поверхности пленок нанокомпозитов
2.3 Измерение толщины пленок диоксида олова
2.4. Электрические методы исследования гетероструктур
2.4.1. Измерение вольтфарадных и вольтсименсных характеристик гетероструктур
2.4.2. Измерение вольтамперных характеристик гетероструктур
2.5. Методика измерения газовой чувствительности
2.5.1 Методика расчета концентрации исследуемого газа
Глава 3. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ ИССЛЕДОВАНИЯ
ПАРАМЕТРОВ ПЛЕНОК ДИОКСИДА ОЛОВА И АНИЗОТИПНЫХ ГЕТЕРОСТРУКТУР НА ИХ ОСНОВЕ
3.1. Структура и состав пленок диоксида олова, полученных .методом ионного распыления оловянной мишени
3.2. Электрические характеристики и физические свойства гетероструктур
Выводы к третьей главе
Глава 4. ГАЗОЧУВСТВИТЕЛЬНЫЕ СВОЙСТВА АНИЗОТИПНЫХ
ГЕТЕРОСТРУКТУР п8п рБ
4.1. Влияние газовой адсорбции паров спирта и толуола
на ВФХ гетероструктур
4.2. Влияние газовой адсорбции паров спирта
на ВСХ гстероструктур
Выводы к четвертой главе
ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ И ВЫВОДЫ
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ
- Київ+380960830922