Технологическое обеспечение показателей качества пластин-подложек ИМС на основе совершенствования доводочных операций

ОГЛАВЛЕНИЕ
ВВЕДЕНИЕ
ГЛАВА 1. СОВРЕМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ ПРОИЗВОДСТВА ПЛАСТИНПОДЛОЖЕК ИНТЕГРАЛЬНЫХ МИКРОСХЕМ.
1.1. Конструкции пластинподложек интегральных микросхем и предъявляемые к ним требования
1.2. Типовые технологические процессы изготовления пластин
из кремния и сапфира.
1.3. Формирование показателей качества пластинподложек интегральных микросхем при их механической обработке и химикомеханическом полировании
1.4. Основные направления совершенствования технологических процессов изготовления
пластинподложек интегральных микросхем
1.5. Выводы по 1й главе.
1.6. Задачи исследований.
ГЛАВА 2. АНАЛИТИЧЕСКОЕ ОБОСНОВАНИЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО ОБЕСПЕЧЕНИЯ ПОКАЗАТЕЛЕЙ КАЧЕСТВА ПЛАСТИН СОВЕРШЕНСТВОВАНИЕМ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ОПЕРАЦИЙ ДОВОДКИ.
2.1. Исследование кинематики доводочных станков для повышения показателей точности формы плоских
поверхностей пластинподложек
2.2. Компьютерное моделирование операции шлифовки пластин подложек ИМС.
2.3. Разработка методики выбора и расчета геометрических параметров каблучного инструмента для шлифования пластинподложек ИМС.
2.4. Компьютерное моделирование алмазноабразивного каблучного инструмента.
2.5. Определение рациональных припусков для технологического процесса изготовления пластинподложек
2.6. Выводы по 2й главе
ГЛАВА 3. МЕТОДИКА ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫХ ИССЛЕДОВАНИЙ
3.1. Описание работы программы компьютерного моделирования износа поверхности притира
3.2. Описание работы программы компьютерного моделирования каблучного алмазноабразивного инструмента
3.3. Методика определения отклонений от плоскостности притиров
3.4. Методика определения износостойкости каблучного инструмента.
3.5. Методика определения свойств поверхностного слоя на основе анализа приповерхностных нарушений
в пластинахподложках.
3.6. Выводы по 3й главе
ГЛАВА 4. РЕЗУЛЬТАТЫ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫХ ИССЛЕДОВАНИЙ И ОБСУЖДЕНИЕ ПОЛУЧЕННЫХ РЕЗУЛЬТАТОВ.
4.1. Экспериментальные исследования неравномерности
износа поверхности притиров.
4.2. Экспериментальные исследования износостойкости алмазноабразивного инструмента.
4.3. Разработка каблучного алмазноабразивного инструмента
4.4. Исследования операции доводки пластинподложек.
Стр
4.5. Исследования приповерхностных нарушений
после различных видов обработки
4.6. Выводы по 4й главе.
ГЛАВА 5. ПРАКТИЧЕСКАЯ РЕАЛИЗАЦИЯ РЕЗУЛЬТАТОВ РАБОТЫ.
5.1. Технологический процесс изготовления пластин сапфира 0 0 мм с применением на операции двусторонней доводки связанного каблучного алмазноабразивного инструментом
5.2. Разработка технологии обработки пластин кремния
0 0 мм свободным абразивом.
5.3. Выводы по 5й главе.
ОБЩИЕ ВЫВОДЫ.
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ