СОДЕРЖАНИЕ
ВВЕДЕНИЕ.
ГЛАВА 1. ФИЗИКОХИМИЧЕСКИЕ ЗАКОНОМЕРНОСТИ ПОЛУЧЕНИЯ И СВОЙСТВА ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ МАТЕРИАЛОВ НА ОСНОВЕ ОКСИДОВ Та5 И Ьаз.
1.1. Наносистемы, содержащие тонкие пленки.
1.2. Особенности тонкопленочного состояния вещества
1.2.1. Термодинамический аспект
1.2.2. Кинетический аспект.
1.2.3. Структурный аспект
1.3. Методы получения тонких пленок оксидов тантала и лантана
1.3.1. Зольгель метод получения тонких пленок.
1.4. Тонкопленочные материалы на основе Та5 и Ьаз
1.4.1. Физикохимические свойства Та5 и алкоголятов тантала
1.4.2. Физикохимические свойства Ьа3
1.4.3. Система Та5 Ьаз.
ГЛАВА 2. ИСХОДНЫЕ ВЕЩЕСТВА. МЕТОДИКА СИНТЕЗА И
ИССЛЕДОВАНИЯ СВОЙСТВ МАТЕРИАЛОВ.
2.1. Характеристика исходных веществ
2.2. Методика синтеза тонкопленочных материалов.
2.2.1. Подготовка подложек.
2.2.2. Методика синтеза тонких пленок
2.3. Физикохимические исследования пленкообразующих растворов
2.3.1. Исследования изменения вязкости пленкообразующих растворов.
2.3.2. Электрофоретические исследования ПОР
2.4. Физикохимические исследования процессов формирования оксидных пленок.
2.4.1. Рентгенофазовый анализ
2.4.2. Дифференциальнотермический анализ и термогравиметрия.
2.4.3. ИКспектроскопия.
2.5. Физикохимические исследования тонкопленочных материалов
2.5.1. Изучение оптических свойств тонких пленок. Эллипсомстрия
2.5.2. Электрофизические исследования.
2.5.3. Адгезия
2.5.4. Растровая электронная микроскопия
2.5.5. Трехмерная бесконтактная профилометрия.
2.5.6. Исследование химической устойчивости.
2.5.7. Исследования кислотноосновных свойств поверхности.
ГЛАВА 3. ФИЗИКОХИМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ, ПРОТЕКАЮЩИЕ В ПЛЕНКООБРАЗУЮЩИХ РАСТВОРАХ
3.1. Пленкообразующие растворы на основе ТаСЬ.
3.2. Пленкообразующие растворы на основе ТаСЬ с добавками семиводного хлорида лантана.
ГЛАВА 4. ФИЗИКОХИМИЧЕСКИЕ ИССЛЕДОВАНИЯ ПРОЦЕССОВ ФОРМИРОВАНИЯ ТОНКИХ ОКСИДНЫХ ПЛЕНОК.
4.1. Процесс формирования Та5 из ПОР на основе ТаС
4.2. Термическое исследование разложения исходной соли ЬаС1з7Н и высушенного спиртового раствора соли семиводного хлорида лантана.
4.3. Процесс формирования пленок системы Таз Газ
4.3.1. Формирование химических соединений.
4.3.2. Формирование двойных оксидов Та2С5 и Ьаз в точках эвтектиках
ГЛАВА 5. ФИЗИКОХИМИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА И СТРУКТУРА ПЛЕНОК ДВОЙНЫХ ОКСИДОВ ТАНТАЛА V И ЛАНТАНА III.
5.1. Фазовый состав, структура и свойства пленок системы Таз Ьаз.
5.2.Исследование кислотноосновных свойств чистых оксидов и двойных соединений Та5 и Ьаз.
5.2.1. Кислотноосновные свойства порошков системы Та5 Ьа3
5.2.2. Диаграмма состав кислотность для системы Таз Ьа3.
5.3. Основные стадии формирования тонких пленок системы Та5 Ьа3.
ГЛАВА 6. ТЕХНОЛОГИЯ ПОЛУЧЕНИЯ И РЕКОМЕНДАЦИИ ПО ПРАКТИЧЕСКОМУ ПРИМЕНЕНИЮ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ МАТЕРИАЛОВ
НА ОСНОВЕ СИСТЕМЫ Та5 Ьа3.
ОБЩИЕ ВЫВОДЫ
СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАННЫХ ИСТОЧНИКОВ
- Київ+380960830922