Оглавление
Условные обозначения.
9 Введение.
1. Общие положения
1.1. Тенденции изменения подходов к проектированию вакуумного оборудования и систем на его основе
1.2. Комплексный подход для анализа вакуумных систем
ф 2. Обзор методов расчета характеристик вакуумных систем
2.1. Методы расчета проводимости в молекулярном режиме
2.2. Методы расчета проводимости в вязкостном режиме
2.3. Методы расчета проводимости в переходном молекулярновязкостном режиме течения
2.3.1. Аналитические методы расчета параметров вакуумных систем в переходном режиме течения.
2.3.2. Решение задач газовой динамики с использованием кинетического уравнения Больцмана.
2.3.3. Метод МонтеКарло и его вариации.
2.4. Некоторые примеры расчета с использованием различных методов.
2.5. Области использования методов молекулярной газовой динамики
2.6. Вывод
ф 3. Методы экспериментальных исследований характеристик вакуумных систем
3.1. Методы определения значения потока газа
3.1.1. Метод накопления.
3.1.2. Метод накопления с перепусканием газа в калиброванный объем
3.1.3. Метод накопления газа с анализом динамики измерения давления во времени
3.1.4. Метод калиброванного сопротивления и двух манометрических датчиков.
3.1.5. Метод двух калиброванных сопротивлений и одного манометрического датчика
3.1.6. Метод эквивалентного потока
3.1.7. Метод суммирования потоков.
3.2. Методы измерения значения давления газа
3.2.1. Тепловые вакуумметры.
3.2.2. Электронные ионизационные вакуумметры
3.2.3. Магнитные газоразрядные вакуумметры
3.2.4. Емкостные высокоточные датчики давления.
3.3. Выводы.
4. Экспериментальные исследования характеристик вакуумных систем
4.1. Типовая экспериментальная установка для измерения характеристик вакуумного
оборудования
4.2. Описание созданной экспериментальной установки и сценария измерений
4.3. Пример анализа экспериментальных данных
4.4. Результаты экспериментов и их обсуждение.
4.5. Выводы.
5. Программный комплекс для автоматизации процессов проектирования и модернизации
вакуумного оборудования.
5.1. Анализ вакуумных характеристик систем
5.1.1. Расчет вакуумных характеристик системы.
5.1.2. Нахождение оптимальных конструкций вакуумных систем
5.1.3. Модернизация программного комплекса
5.1.4. Экспрессанализ вакуумной системы
5.2. Автоматизированная система анализа тепловых характеристик вакуумной системы.
5.3. Проектировочные расчеты вакуумной арматуры и соединительных элементов вакуумных
систем с помощью предложенного комплекса
5.3.1. Расчет проводимости сложного трубопровода
5.3.2. Примеры расчета проводимости.
5.3.3. Выводы.
5.4. Анализ сложного вакуумного оборудования с помощью предложенного программного комплекса.
6. Примеры использования предлагаемых подходов в задачах проектирования и модернизации
сложных вакуумных систем.
6.1. Оптимизация вакуумного оборудования
6.1.1. Вакуумные ловушки
6.1.2. Крионасосы.
6.1.3. Вывод
7. Выводы по работе
Литература
- Київ+380960830922