Фізико-хімічні аспекти одержання сплавів та обробки поверхні напівпровідників CdSb, CdTe і твердих розчинів на їх основі

ЗМІСТ
ПЕРЕЛІК УМОВНИХ СКОРОЧЕНЬВСТУП
РОЗДІЛ 1. ВЛАСТИВОСТІ НАПІВПРОВІДНИКОВИХ СПОЛУК CdSb І CdTe, ТВЕРДИХ РОЗЧИНІВ НА ЇХ ОСНОВІ ТА ХАРАКТЕРНІ УМОВИ ТРАВЛЕННЯ
1.1. Основні фізико-хімічні властивості CdSb 1. Особливості одержання CdTe та твердих розчинів на його основі 1.3. Фізико-хімічні аспекти травлення та стан поверхні напівпровідників 1.4. Особливості взаємодії CdSb з травильними розчинами 1.5. Особливості взаємодії CdTe і твердих розчинів з травильними розчинами Висновки до
розділу
РОЗДІЛ 2. ВИХІДНІ МАТЕРІАЛИ І МЕТОДИКА ЕКСПЕРИМЕНТУ 2.1. Вихідні матеріали та контейнери 2.2. Особливості синтезу сплавів на основі CdSb та вирощування монокристалів Cd-xMnxTe
2.2.1. Синтез сплавів системи CdSb - As 2.2.2. Синтез сплавів системи CdSb - FeSb 2.2.3. Особливості одержання монокристалів Cd-xMnxTe 2.3. Мікроструктурний аналіз 2.4. Мікротвердість фаз 2.5. Диференційно-термічний аналіз 2. Методика дослідження в растровому електронному мікроскопі 2.7. Методика дослідження поверхні методом електронної Оже-спектроскопії 2.8. Розрахунок і побудова діаграм Пурбе 2.8.1. Потенціометричні виміри електродного потенціалу Висновки до
розділу
РОЗДІЛ 3. ДОСЛІДЖЕННЯ ФІЗИКО-ХІМІЧНИХ ВЛАСТИВОСТЕЙ СПЛАВІВ НА ОСНОВІ CdSb ТА ТВЕРДИХ РОЗЧИНІВ Cd-xMnxTe
3.1. Особливості поведінки CdSb в області температури плавлення 3.2. Фізико-хімічні властивості системи CdSb - As 3.2.1. МСА сплавів системи CdSb - As 3.2.2. Мікротвердість сплавів системи CdSb - As 3.2.3. ДТА сплавів системи CdSb - As 3.3. Фізико-хімічні властивості системи CdSb - FeSb 3.3.1. МСА сплавів системи CdSb - FeSb 3.3.2. Виміри мікротвердості системи CdSb - FeSb 3.3.3. ДТА сплавів системи CdSb - FeSb 3.4. Аномальна поведінка мікротвердості твердих розчинів Cd-xMnxTe Висновки до
розділу
РОЗДІЛ 4. ТЕРМОДИНАМІЧНИЙ АНАЛІЗ ОСОБЛИВОСТЕЙ ПРОЦЕСІВ ТРАВЛЕННЯ CdSb
4.1. Термодинамічний підхід до оцінки процесів травлення CdSb 4.2. Вплив рН на характер анодних реакцій в системі CdSb-травник 4.3. Вплив способу обробки на фізико-хімічні властивості поверхні CdSb 4.3.1. Склад поверхні монокристалів CdSb після різних способів обробки 4.3.2. Оптичні властивості поверхні CdSb після різних способів обробки 4.3.3. Електричні властивості поверхні монокристалів CdSb 4.4. Інтерференційно-абсорбційні фільтри на основі CdSb 4.4.1. Методика отримання інтерференційно-абсорбційних ІЧ-фільтрів на основі монокристалів CdSb
4.4.2. Отримання металізуючих покриттів для інтерференційно-абсорбційних фільтрів на основі CdSb
4.4.3. Стабільність інтерференційно-абсорбційних фільтрів на основі CdSb Висновки до
розділу
РОЗДІЛ 5. ТЕРМОДИНАМІЧНИЙ ПРОГНОЗ І ДОСЛІДЖЕННЯ ПРОЦЕСІВ РОЗЧИНЕННЯ CdTe, ТВЕРДИХ РОЗЧИНІВ Cd-xMnxTe І Cd-xZnxTe
5.1. Прогноз процесів травлення твердих розчинів Cd-хZnxTe і Cd-xMnxTe 5.2. Потенціометричні виміри електродних потенціалів Cd-хZnxTe 5.3. Особливості взаємодії CdTe, Cd-xMnxTe і Cd-xZnxTe з різними поліруючими травниками
5.3.1. Залежність глибини порушеного шару від способу обробки 5.3.2. Механізм поліруючого травлення CdTe, Cd-xMnxTe і Cd-xZnxTe в бромметанольному розчині
5.3.3. Якість поверхні CdTe, Cd-xMnxTe і Cd-xZnxTe після обробки в різних поліруючих травниках
Висновки до
розділуВИСНОВКИДОДАТОК А Склади і особливості режимів роботи травників для CdSb і сплавів на його основіДОДАТОК Б Електродні потенціали (?) хімічних реакцій в системі CdSb - HOДОДАТОК В Склади травників і особливості травлення CdTe і твердих розчинів на його основіДОДАТОК Г Формули для розрахунку евтектичної концентраціїСПИСОК