Содержание
стр.
Введение …………………………………………………………….
Глава 1. состояние предмета исследования и формулировка решаемой проблемы ………
1.1. Сканирующая зондовая микроскопия…………………….
1.2. Устройства микроперемещений зондовых наномикроскопов …………………………………….……
1.3. Пьезокерамический сканер ………………………………
1.4. Возможные искажения при получении изображения исследуемой поверхности в
наномикроскопе……………
1.5. Выводы ……………………………………………………
1.6. Формулировка решаемой проблемы …………………….
Глава 2. Биморфный Трубчатый ПЬЕЗОКЕРАМИЧЕСКИЙ
СКАНЕР.…
2.1. Биморфный трубчатый пьезокерамический сканер……
2.2. Механические характеристики биморфного трубчатого пьезокерамического
сканера …………………………….
2.3. Компьютерная модель биморфного трубчатого пьезокерамического сканера для
визуализации перемещения………………………………………………
2.4. Характеристики разработанного биморфного трубчатого пьезокерамического
сканера ……………………….……
2.5. Выводы ……………………………………………………
Глава 3. ПЬЕЗОКЕРАМИЧЕСКИЙ СКАНЕР НА ОСНОВЕ планарных БИМОРФНЫХ
ПЬЕЗОЭЛЕМЕНТОВ
3.1. Пьезокерамический сканер на основе планарных биморфных
пьезоэлементов………….……………………
3.2. Механические характеристики сканера на основе планарных биморфных
пьезоэлементов ………………….
3.3. Компьютерная модель сканер на основе планарных биморфных пьезоэлементов
для визуализации перемещения………………………………………………
3.4. Характеристики разработанного пьезокерамического сканера на основе
планарных биморфных пьезоэлементов……………………………………………
3.5. Выводы ……………………………………………………
Глава 4. ПЬЕЗОКЕРАМИЧЕСКИЙ СКАНЕР НА ОСНОВЕ БИМОРФНОГО ПЛАНАРНОГО
КАМЕРТОНА…………………………….……………….
4.1. Пьезокерамический сканер на основе биморфного планарного камертона
………………………………….….
4.2. Механические характеристики пьезокерамического сканера на основе
биморфного планарного камертона.
4.3. Компьютерная модель пьезокерамического сканера на основе биморфного
планарного камертона для визуализации перемещения ……………………………….
4.4. Характеристики разработанного пьезокерамического сканера на основе
биморфного планарного камертона …
4.5. Основные требования к упругим элементам сканера ….
4.6. Комплексное многофункциональное устройство точного позиционирования
пьезокерамических сканеров для зондовых наномикроскопов ………………………………
4.7. Выводы ……………………………………………………
Выводы ………………………………………………………………
Приложение А – Справка Черкасского государственного технологического
университета про внедрение в учебный процесс результатов диссертационной
работы
Приложение Б – Акт Черкасского государственного технологического университета
про использование результатов диссертационной работы в научно-исследовательской
работе…….
приложение В – Акт про использование пьезокерамического сканера на ОДО
"Микротестмашины"…….
приложение Г – Акт про использование пьезокерамического сканера на НПК
"Фотоприбор".……………….
приложение Д – Акт про использование пьезокерамического сканера на ОАО
"Укрпьезо"…….
Список
- Київ+380960830922